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公开(公告)号：CN101443715A
公开(公告)日：2009-05-27
申请号：CN200780016753.X
申请日：2007-04-24
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: G05B19/418 , G01R31/00 , G05B23/02 , G06Q50/00 , H01L21/02 , H01L21/205 , H01L21/66
CPC classification number: G05B19/4184 , G05B23/0264 , G05B2219/31365 , G06Q10/06 , G06Q50/04 , Y02P90/14 , Y02P90/18 , Y02P90/30
Abstract: 在以往的服务器装置中存在无法容易且有效地进行异常分析的问题。通过如下的服务器装置能够容易且有效地进行异常分析，该服务器装置保存多个测量信息，该测量信息是关于由多个制造装置测量出的信息的时间序列的信息，是具有识别制造装置的装置标识符和表示时刻的时刻信息的信息，保存作为表示异常的信息的异常信息与一个以上的测量信息的一个以上的对应，具备：异常信息输出部，其输出一个以上的异常信息；图表构成部，其在接受了对于异常信息输出部输出的一个以上的异常信息中的一个以上的异常信息的指示、即异常信息指示的情况下，由与对应于异常信息指示的一个以上的异常信息成对的一个以上的测量信息构成一个以上的图表；以及输出部，其输出图表构成部构成的一个以上的图表。
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公开(公告)号：CN101443715B
公开(公告)日：2012-05-30
申请号：CN200780016753.X
申请日：2007-04-24
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: G05B19/418 , G06Q10/06 , G06Q50/04
CPC classification number: G05B19/4184 , G05B23/0264 , G05B2219/31365 , G06Q10/06 , G06Q50/04 , Y02P90/14 , Y02P90/18 , Y02P90/30
Abstract: 在以往的服务器装置中存在无法容易且有效地进行异常分析的问题。通过如下的服务器装置能够容易且有效地进行异常分析，该服务器装置保存多个测量信息，该测量信息是关于由多个制造装置测量出的信息的时间序列的信息，是具有识别制造装置的装置标识符和表示时刻的时刻信息的信息，保存作为表示异常的信息的异常信息与一个以上的测量信息的一个以上的对应，具备：异常信息输出部，其输出一个以上的异常信息；图表构成部，其在接受了对于异常信息输出部输出的一个以上的异常信息中的一个以上的异常信息的指示、即异常信息指示的情况下，由与对应于异常信息指示的一个以上的异常信息成对的一个以上的测量信息构成一个以上的图表；以及输出部，其输出图表构成部构成的一个以上的图表。
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公开(公告)号：CN101438384B
公开(公告)日：2011-04-13
申请号：CN200780016476.2
申请日：2007-04-24
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/02 , G05B19/418 , G05B23/02 , G06Q50/00 , H01L21/205 , H01L21/3065 , H01L21/66
CPC classification number: G05B19/41875 , G05B2219/31331 , G05B2219/31432 , G05B2219/32179 , G05B2219/45031 , G06Q10/06 , Y02P90/14 , Y02P90/18 , Y02P90/22
Abstract: 以往，无法过滤利用产品晶片片数测定的信息来构成图表。利用本发明的服务器装置，可过滤用产品晶片片数测定的信息来构成图表，该服务器装置保存有多个测定信息，该测定信息是关于由多个制造装置测定的信息的时间系列信息，是具有产品晶片片数和时刻信息的信息，其具备：指示接收部，接收包括产品晶片片数的图表的输出指示；异常检测部，在指示接收部接收到输出指示的情况下，读出符合该输出指示所包含的产品晶片片数条件的多个测定信息，判断所读出的该多个测定信息是否符合条件信息；输出信息构成部，构成与异常检测部的判断结果对应的输出信息；输出部，输出所述输出信息构成部所构成的输出信息。
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公开(公告)号：CN101438384A
公开(公告)日：2009-05-20
申请号：CN200780016476.2
申请日：2007-04-24
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/02 , G05B19/418 , G05B23/02 , G06Q50/00 , H01L21/205 , H01L21/3065 , H01L21/66
CPC classification number: G05B19/41875 , G05B2219/31331 , G05B2219/31432 , G05B2219/32179 , G05B2219/45031 , G06Q10/06 , Y02P90/14 , Y02P90/18 , Y02P90/22
Abstract: 以往，无法过滤利用产品晶片片数测定的信息来构成图表。利用本发明的服务器装置，可过滤用产品晶片片数测定的信息来构成图表，该服务器装置保存有多个测定信息，该测定信息是关于由多个制造装置测定的信息的时间系列信息，是具有产品晶片片数和时刻信息的信息，其具备：指示接收部，接收包括产品晶片片数的图表的输出指示；异常检测部，在指示接收部接收到输出指示的情况下，读出符合该输出指示所包含的产品晶片片数条件的多个测定信息，判断所读出的该多个测定信息是否符合条件信息；输出信息构成部，构成与异常检测部的判断结果对应的输出信息；输出部，输出所述输出信息构成部所构成的输出信息。
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