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公开(公告)号：CN113808969A
公开(公告)日：2021-12-17
申请号：CN202110625856.8
申请日：2021-06-04
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/67
Abstract: 本发明要解决的技术问题是，防止因功能液中的溶质凝集并附着在与接收从释放头释放的功能液的液体接收部连接或者对释放头内的功能液进行抽吸的排液管上，而导致功能液的抽吸性能、排出性能受损。本发明提供液体排出装置和液体排出方法。本发明的液体排出装置用于将来自释放头的功能液排出，在所述释放头形成有用于向工件释放功能液的液滴的释放孔，所述液体排出装置的特征在于，具有：排液管，其用于对所述释放头内的功能液进行抽吸或者与接收从所述释放头释放的功能液的液体接收部连接；和供给管，其用于向所述排液管供给使所述排液管内的功能液流出的清洗用流体。
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