公开(公告)号：CN116210078A

公开(公告)日：2023-06-02

申请号：CN202180063757.3

申请日：2021-09-10

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 中込涉 ,  村川章太郎 ,  佐藤直之 ,  仙头史孝 ,  向山达也 ,  窪田茂 ,  平出圭介

IPC: H01L21/677

Abstract: 一种方法，在具备对基板实施期望的处理的至少一个处理部以及对所述处理部搬送基板的搬送部的处理系统中将要连续处理的多个基板从所述搬送部搬送到所述处理部，在所述方法中，预先对多个所述基板各分别分配用于任意地变更针对该基板的处理时间的调整值，所述方法包括以下工序：获取分配给本次处理的第一基板的所述调整值；获取分配给在所述第一基板之前进行了处理的基准基板的基准调整值；获取对所述基准基板进行的实际的处理时间即实际时间；通过使分配给所述第一基板的所述调整值与所述基准调整值之差反映到所述实际时间中，来计算第一基板的预测处理时间；以及基于计算出的所述预测处理时间来调整在所述第一基板之后处理的第二基板的搬送定时。

公开(公告)号：CN119452736A

公开(公告)日：2025-02-14

申请号：CN202380050533.8

申请日：2023-08-24

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 野村正道 ,  齐藤雄介 ,  平出圭介

IPC: H05H1/46 ,  H01L21/205 ,  H01L21/3065

Abstract: 一种等离子体处理方法，是使用了等离子体处理装置的等离子体处理方法，所述等离子体处理方法包括以下工序：获取包含第一初始电力值、初始电力施加时间以及输出抑制比的参数；获取包含作为第二初始电力值的制程设定电力值的处理制程；以及从所述第一初始电力值和所述第二初始电力值中的某一者中决定对等离子体激发用天线的初始接通电力，在将所述第一初始电力值决定为所述初始接通电力的情况下，所述等离子体处理方法包括以下工序：用至少所述初始电力施加时间以上的时间长度向所述等离子体激发用天线供给所决定的所述初始接通电力；以及使向所述等离子体激发用天线供给的高频电力的输出从所述初始接通电力逐步地上升到所述制程设定电力值。