公开(公告)号：CN109425414A

公开(公告)日：2019-03-05

申请号：CN201811009097.7

申请日：2018-08-31

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 广濑润 ,  网仓纪彦 ,  实吉梨沙子 ,  小野寺忍

IPC: G01F25/00

Abstract: 本发明提供一种检查在累加法中利用的流量测量系统是否处于适合于准确求取气体流量的状态的方法。一个实施方式的方法涉及在基板处理系统中使用的检查流量测量系统的方法。流量测量系统提供基于累加法的流量的计算中使用的气体流路。由基板处理系统的气体供给部的流量控制器输出的气体能够向该气体流路供给。在该方法中，除了气体流路的容积的预先所求取的初始值之外，还在流量测量系统的检查时求取该气体流路的容积。并且，将所求取的容积与初始值进行比较。

公开(公告)号：CN109425414B

公开(公告)日：2020-09-08

申请号：CN201811009097.7

申请日：2018-08-31

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 广濑润 ,  网仓纪彦 ,  实吉梨沙子 ,  小野寺忍

IPC: G01F25/00

Abstract: 本发明提供一种检查在累加法中利用的流量测量系统是否处于适合于准确求取气体流量的状态的方法。一个实施方式的方法涉及在基板处理系统中使用的检查流量测量系统的方法。流量测量系统提供基于累加法的流量的计算中使用的气体流路。由基板处理系统的气体供给部的流量控制器输出的气体能够向该气体流路供给。在该方法中，除了气体流路的容积的预先所求取的初始值之外，还在流量测量系统的检查时求取该气体流路的容积。并且，将所求取的容积与初始值进行比较。