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公开(公告)号：CN109216253A
公开(公告)日：2019-01-15
申请号：CN201810736687.3
申请日：2018-07-06
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/683
Abstract: 本发明提供一种能够抑制在基板的背面发生的放电的静电卡盘的制造方法和静电卡盘。在该静电卡盘的制造方法中，该静电卡盘通过向第一电极层施加电压来吸附基板，所述静电卡盘的制造方法包括以下步骤：在基台上的第一树脂层上形成所述第一电极层的步骤；以及向所述第一电极层上喷镀陶瓷或含有陶瓷的物质，其中，喷镀所述陶瓷或含有陶瓷的物质的步骤包括以下步骤：利用等离子体生成气体来运送从给料机投入到喷嘴内的喷镀材料的粉末，从喷嘴的前端部的开口喷射该粉末；利用500W～10kW的电力使所喷射的等离子体生成气体解离，来生成与所述喷嘴具有共同的轴芯的等离子体；以及利用生成的等离子体使喷镀材料的粉末以液状在所述第一电极层上成膜。
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公开(公告)号：CN109937613B
公开(公告)日：2024-02-23
申请号：CN201780069695.0
申请日：2017-10-27
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 本发明提供一种等离子体喷镀装置，其具有：供给部，其利用等离子体生成气体来运送喷镀材料的粉末，并从前端部的开口喷射该喷镀材料的粉末；等离子体生成部，其使用喷射出的所述等离子体生成气体来生成与所述供给部具有共同的芯轴的等离子体射流；磁场产生部，其在所述等离子体的生成空间中产生磁场；以及控制部，其控制所述磁场产生部，来控制所述生成的等离子体的偏转。
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公开(公告)号：CN109937613A
公开(公告)日：2019-06-25
申请号：CN201780069695.0
申请日：2017-10-27
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 本发明提供一种等离子体喷镀装置，其具有：供给部，其利用等离子体生成气体来运送喷镀材料的粉末，并从前端部的开口喷射该喷镀材料的粉末；等离子体生成部，其使用喷射出的所述等离子体生成气体来生成与所述供给部具有共同的芯轴的等离子体；磁场产生部，其在所述等离子体的生成空间中产生磁场；以及控制部，其控制所述磁场产生部，来控制所述生成的等离子体的偏转。
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公开(公告)号：CN109216253B
公开(公告)日：2023-03-10
申请号：CN201810736687.3
申请日：2018-07-06
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/683
Abstract: 本发明提供一种能够抑制在基板的背面发生的放电的静电卡盘的制造方法和静电卡盘。在该静电卡盘的制造方法中，该静电卡盘通过向第一电极层施加电压来吸附基板，所述静电卡盘的制造方法包括以下步骤：在基台上的第一树脂层上形成所述第一电极层的步骤；以及向所述第一电极层上喷镀陶瓷或含有陶瓷的物质，其中，喷镀所述陶瓷或含有陶瓷的物质的步骤包括以下步骤：利用等离子体生成气体来运送从给料机投入到喷嘴内的喷镀材料的粉末，从喷嘴的前端部的开口喷射该粉末；利用500W～10kW的电力使所喷射的等离子体生成气体解离，来生成与所述喷嘴具有共同的轴芯的等离子体；以及利用生成的等离子体使喷镀材料的粉末以液状在所述第一电极层上成膜。
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公开(公告)号：CN109023215B
公开(公告)日：2021-06-25
申请号：CN201810581457.4
申请日：2018-06-07
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Inventor： 小林義之
IPC: C23C4/134
Abstract: 本发明提供一种能够将多个喷镀枪的间隔配置为狭窄的间隔的等离子体喷镀头、等离子体喷镀装置及等离子体喷镀方法。一个实施方式的等离子体喷镀头利用等离子体来使喷镀材料的粉末熔融，并且利用熔融后的粉末在对象物进行成膜，所述等离子体喷镀头具有喷镀枪和主体部，所述喷镀枪分别包括：喷嘴，其利用等离子体生成气体来运送所述喷镀材料的粉末，并且从前端部的开口喷射该粉末；以及等离子体生成部，其利用由直流电源输出的电力分解由所述喷嘴喷射的所述等离子体生成气体，来生成与所述喷嘴具有共同的芯轴的等离子体，所述主体部将所述多个喷镀枪一体地支承，在该主体部的内部包括供制冷剂流通的制冷剂流路。
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公开(公告)号：CN109023215A
公开(公告)日：2018-12-18
申请号：CN201810581457.4
申请日：2018-06-07
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Inventor： 小林義之
IPC: C23C4/134
CPC classification number: C23C4/134
Abstract: 本发明提供一种能够将多个喷镀枪的间隔配置为狭窄的间隔的等离子体喷镀头、等离子体喷镀装置及等离子体喷镀方法。一个实施方式的等离子体喷镀头利用等离子体来使喷镀材料的粉末熔融，并且利用熔融后的粉末在对象物进行成膜，所述等离子体喷镀头具有喷镀枪和主体部，所述喷镀枪分别包括：喷嘴，其利用等离子体生成气体来运送所述喷镀材料的粉末，并且从前端部的开口喷射该粉末；以及等离子体生成部，其利用由直流电源输出的电力分解由所述喷嘴喷射的所述等离子体生成气体，来生成与所述喷嘴具有共同的芯轴的等离子体，所述主体部将所述多个喷镀枪一体地支承，在该主体部的内部包括供制冷剂流通的制冷剂流路。
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