-
公开(公告)号：CN110010535B
公开(公告)日：2024-03-26
申请号：CN201811489876.1
申请日：2018-12-06
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/677 , H01L21/673
Abstract: 本发明提供一种能够对FOUP的内表面进行除电，抑制微粒向FOUP的内表面的附着的基板搬入搬出装置、处理装置和基板搬送容器的除电方法。一个实施方式的基板搬入搬出装置具有：隔壁，其划分出基板搬送区域和容器搬送区域；搬送口，其形成于所述隔壁；以及气体供给机构，其从所述搬送口的开口缘部向使基板收纳容器的取出口的开口缘部与所述搬送口的开口缘部紧密接合后的基板收纳容器的内部吹送被电离了的气体。
-
公开(公告)号：CN109148342A
公开(公告)日：2019-01-04
申请号：CN201810631924.X
申请日：2018-06-19
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/673 , H01L21/67
CPC classification number: H01L21/67303 , H01L21/67109
Abstract: 本发明的目的在于提供一种不使构造复杂化、就能够防止气体的扩散、进行高效的基板处理的基板保持件和使用了该基板保持件的基板处理装置。一种基板保持件，其具有：顶板；底板；以及多根支柱，其以端部与该顶板的外缘部和该底板的外缘部连结的方式设置，该基板保持件能够将基板保持成多层，在该基板保持件中，所述顶板和所述支柱的与所述顶板连结的部分中的位于最外侧的部分形成得比所述底板和所述支柱的与所述底板连结的部分中的位于最外侧的部分小。
-
公开(公告)号：CN109148331B
公开(公告)日：2023-01-10
申请号：CN201810688870.0
申请日：2018-06-28
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Inventor： 大冈雄一
Abstract: 本发明提供一种带清洁喷嘴的盖体、热处理装置以及热处理装置用盖体的清洁方法。该带清洁喷嘴的盖体能够将附着、堆积到盖体上表面的颗粒去除，能够进行精度比以往的精度高的颗粒管理。通过提供一种带清洁喷嘴的盖体来解决上述问题，该带清洁喷嘴的盖体的特征在于，具有：盖体(14)，其用于进行热处理装置用处理容器的开闭；轴(20)，其设置于盖体(14)，可相对于盖体(14)旋转，保持被热处理体的保持件载置于该轴(20)的上部；清洁喷嘴(70)，其以从轴沿外周方向延伸的方式设置，具有多个气体喷出孔，从气体喷出孔朝向盖体(14)的处理容器(4)侧的面吹送清洁气体，同时利用轴的旋转沿着盖体(14)的处理容器(4)侧的面移动。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108573902B
公开(公告)日：2023-09-29
申请号：CN201810207976.4
申请日：2018-03-14
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Inventor： 大冈雄一
IPC: H01L21/67 , H01L21/677
Abstract: 提供一种纵式热处理装置和纵式热处理装置的运转方法。在利用基板搬送机构将被从反应容器搬出的基板保持器具保持的热处理后的基板取出时，实现生产率的提高。在将多个晶圆以棚架状保持于作为基板保持器具的晶圆舟来搬入反应容器内进行热处理的纵式热处理装置中，在热处理后从冷却气体喷吹机构向被从所述反应容器搬出的晶圆舟喷吹冷却气体，并且利用翘曲检测部对被晶圆舟保持的晶圆检测翘曲。然后，利用晶圆搬送机构将被判定为没有翘曲的晶圆从晶圆舟取出。因此，能够对由于热处理而产生翘曲且翘曲随着温度的下降而收敛的晶圆检测其翘曲的收敛，因此能够在翘曲收敛的定时开始晶圆搬送机构的取出，能够实现生产率的提高。
-
公开(公告)号：CN108573902A
公开(公告)日：2018-09-25
申请号：CN201810207976.4
申请日：2018-03-14
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Inventor： 大冈雄一
IPC: H01L21/67 , H01L21/677
CPC classification number: H01L21/67288 , H01L21/67098 , H01L21/67109 , H01L21/67271 , H01L21/67763
Abstract: 提供一种纵式热处理装置和纵式热处理装置的运转方法。在利用基板搬送机构将被从反应容器搬出的基板保持器具保持的热处理后的基板取出时，实现生产率的提高。在将多个晶圆以棚架状保持于作为基板保持器具的晶圆舟来搬入反应容器内进行热处理的纵式热处理装置中，在热处理后从冷却气体喷吹机构向被从所述反应容器搬出的晶圆舟喷吹冷却气体，并且利用翘曲检测部对被晶圆舟保持的晶圆检测翘曲。然后，利用晶圆搬送机构将被判定为没有翘曲的晶圆从晶圆舟取出。因此，能够对由于热处理而产生翘曲且翘曲随着温度的下降而收敛的晶圆检测其翘曲的收敛，因此能够在翘曲收敛的定时开始晶圆搬送机构的取出，能够实现生产率的提高。
-
公开(公告)号：CN109148342B
公开(公告)日：2023-05-12
申请号：CN201810631924.X
申请日：2018-06-19
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/673 , H01L21/67
Abstract: 本发明的目的在于提供一种不使构造复杂化、就能够防止气体的扩散、进行高效的基板处理的基板保持件和使用了该基板保持件的基板处理装置。一种基板保持件，其具有：顶板；底板；以及多根支柱，其以端部与该顶板的外缘部和该底板的外缘部连结的方式设置，该基板保持件能够将基板保持成多层，在该基板保持件中，所述顶板和所述支柱的与所述顶板连结的部分中的位于最外侧的部分形成得比所述底板和所述支柱的与所述底板连结的部分中的位于最外侧的部分小。
-
公开(公告)号：CN110010535A
公开(公告)日：2019-07-12
申请号：CN201811489876.1
申请日：2018-12-06
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/677 , H01L21/673
Abstract: 本发明提供一种能够对FOUP的内表面进行除电，抑制微粒向FOUP的内表面的附着的基板搬入搬出装置、处理装置和基板搬送容器的除电方法。一个实施方式的基板搬入搬出装置具有：隔壁，其划分出基板搬送区域和容器搬送区域；搬送口，其形成于所述隔壁；以及气体供给机构，其从所述搬送口的开口缘部向使基板收纳容器的取出口的开口缘部与所述搬送口的开口缘部紧密接合后的基板收纳容器的内部吹送被电离了的气体。
-
公开(公告)号：CN109148331A
公开(公告)日：2019-01-04
申请号：CN201810688870.0
申请日：2018-06-28
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Inventor： 大冈雄一
CPC classification number: H01L21/67098 , B08B5/02 , H01L21/67028
Abstract: 本发明提供一种带清洁喷嘴的盖体、热处理装置以及热处理装置用盖体的清洁方法。该带清洁喷嘴的盖体能够将附着、堆积到盖体上表面的颗粒去除，能够进行精度比以往的精度高的颗粒管理。通过提供一种带清洁喷嘴的盖体来解决上述问题，该带清洁喷嘴的盖体的特征在于，具有：盖体(14)，其用于进行热处理装置用处理容器的开闭；轴(20)，其设置于盖体(14)，可相对于盖体(14)旋转，保持被热处理体的保持件载置于该轴(20)的上部；清洁喷嘴(70)，其以从轴沿外周方向延伸的方式设置，具有多个气体喷出孔，从气体喷出孔朝向盖体(14)的处理容器(4)侧的面吹送清洁气体，同时利用轴的旋转沿着盖体(14)的处理容器(4)侧的面移动。
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
8
records
(took 0.019 seconds)
