公开(公告)号：CN109148342A

公开(公告)日：2019-01-04

申请号：CN201810631924.X

申请日：2018-06-19

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 大冈雄一 ,  吉冈伸高

IPC: H01L21/673 ,  H01L21/67

CPC classification number: H01L21/67303 ,  H01L21/67109

Abstract: 本发明的目的在于提供一种不使构造复杂化、就能够防止气体的扩散、进行高效的基板处理的基板保持件和使用了该基板保持件的基板处理装置。一种基板保持件，其具有：顶板；底板；以及多根支柱，其以端部与该顶板的外缘部和该底板的外缘部连结的方式设置，该基板保持件能够将基板保持成多层，在该基板保持件中，所述顶板和所述支柱的与所述顶板连结的部分中的位于最外侧的部分形成得比所述底板和所述支柱的与所述底板连结的部分中的位于最外侧的部分小。

公开(公告)号：CN109148342B

公开(公告)日：2023-05-12

申请号：CN201810631924.X

申请日：2018-06-19

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 大冈雄一 ,  吉冈伸高

IPC: H01L21/673 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明的目的在于提供一种不使构造复杂化、就能够防止气体的扩散、进行高效的基板处理的基板保持件和使用了该基板保持件的基板处理装置。一种基板保持件，其具有：顶板；底板；以及多根支柱，其以端部与该顶板的外缘部和该底板的外缘部连结的方式设置，该基板保持件能够将基板保持成多层，在该基板保持件中，所述顶板和所述支柱的与所述顶板连结的部分中的位于最外侧的部分形成得比所述底板和所述支柱的与所述底板连结的部分中的位于最外侧的部分小。

公开(公告)号：CN115083972A

公开(公告)日：2022-09-20

申请号：CN202210220817.4

申请日：2022-03-08

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 岛田光一 ,  吉冈伸高

IPC: H01L21/673

Abstract: 本公开涉及处理治具。本公开的目的在于，提供一种容易进行基板保持工具的操作的处理治具。一种处理治具，其对基板保持工具进行保持并容易进行操作，该基板保持工具由顶板、底板以及与所述顶板和所述底板连接着的多个支柱构成，并利用所述多个支柱保持基板，其中，该处理治具具有：顶板保持治具，其以覆盖所述顶板的外缘部的方式保持所述顶板；以及底板保持治具，其以覆盖所述底板的外缘部的方式保持所述底板。