-
公开(公告)号：CN111238646A
公开(公告)日：2020-06-05
申请号：CN201911155829.8
申请日：2019-11-22
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 本发明提供一种红外线摄像机的校正方法和红外线摄像机的校正系统，能够提高红外线摄像机的温度的检测精度，包括取得工序、校正值计算工序、插补曲线确定工序、和保存工序。在取得工序中，载置基板的载置台被设定为多个不同的温度，在各温度下由红外线摄像机取得来自载置台的上表面的多个区域各自的红外线的放射量的检测值。在校正值计算工序中，在各温度下计算设置有温度传感器的区域即基准区域的检测值与其它区域的检测值的差量来作为校正值。在插补曲线确定工序中，对各区域确定表示相对于基准区域的检测值的校正值的变化趋势的插补曲线。在保存工序中，保存规定对各个区域确定的插补曲线的参数。
-
公开(公告)号：CN111238646B
公开(公告)日：2024-11-12
申请号：CN201911155829.8
申请日：2019-11-22
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 本发明提供一种红外线摄像机的校正方法和红外线摄像机的校正系统，能够提高红外线摄像机的温度的检测精度，包括取得工序、校正值计算工序、插补曲线确定工序、和保存工序。在取得工序中，载置基板的载置台被设定为多个不同的温度，在各温度下由红外线摄像机取得来自载置台的上表面的多个区域各自的红外线的放射量的检测值。在校正值计算工序中，在各温度下计算设置有温度传感器的区域即基准区域的检测值与其它区域的检测值的差量来作为校正值。在插补曲线确定工序中，对各区域确定表示相对于基准区域的检测值的校正值的变化趋势的插补曲线。在保存工序中，保存规定对各个区域确定的插补曲线的参数。
-
公开(公告)号：CN116487289A
公开(公告)日：2023-07-25
申请号：CN202310087984.0
申请日：2023-01-18
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/67 , G05D23/20 , H01J37/304 , H01J37/302
Abstract: 本发明涉及基于模型的控制方法、基于模型的控制系统和程序，可使温度控制部件的温度分布更迅速地接近作为目标的温度分布。基于模型的控制方法包括：步骤a，获取设置于处理装置的、具有能够单独地进行温度控制的多个区域的温度控制部件的包含各个区域的温度数据的温度控制数据；步骤b，对于各个区域确定其他区域的温度；步骤c，对于各个区域，使用所确定的其他区域的温度和温度控制数据，确定多输入单输出的状态空间模型的参数；步骤d，通过将所确定的多输入单输出的状态空间模型的参数分配给多输入多输出的状态空间模型的各元素，生成多输入多输出的状态空间模型；和步骤e，使用多输入多输出的状态空间模型，控制温度控制部件的各个区域的温度。
-
-
Search Results
3
records
(took 0.022 seconds)
