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公开(公告)号：CN100570820C
公开(公告)日：2009-12-16
申请号：CN200710181281.5
申请日：2007-10-26
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/00 , H01L21/683 , H01L21/02 , H01L21/67
Abstract: 本发明提供一种静电卡盘的诊断方法，其利用简单的方法对静电卡盘的寿命进行预测。在利用设置在载置台上部的静电卡盘对基板进行静电吸附、并且对该基板进行等离子体处理时，定期地对基板进行作为相同的等离子体处理的诊断用方案，对向静电卡盘的表面与基板的背面之间的间隙供给的背面气体的压力进行调整，使得此时的各基板的温度成为规定温度，记录该调整后的背面气体的压力，对该背面气体的压力的经时变化进行监视，由此，能够简便地预测静电卡盘的寿命。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100355019C
公开(公告)日：2007-12-12
申请号：CN200510102528.0
申请日：2005-09-08
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Inventor： 冈城武敏
Abstract: 本发明涉及不用控制处理室的排气量就能够控制处理室内的压力，并且不给基板处理造成影响的基板处理装置和基板处理方法。该装置设置：使用处理气体对被处理基板实施处理的处理室(102)；将处理室内分隔为进行被处理基板处理的处理空间(102A)和排放出处理室内气体的排气空间(102B)，并且具有多个连通处理空间和排气空间的通气孔(132)的挡板(130)；向处理室内的处理空间供给处理气体的处理气体供给机构(140)；向处理室内的排气空间供给用来调节处理室内压力的压力调节气体的压力调节气体供给机构(150)；从处理气体供给机构供给处理气体时，通过压力调节气体供给机构供给压力调节气体，使处理空间压力达到预先设定压力的压力控制器(180)。
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公开(公告)号：CN1767146A
公开(公告)日：2006-05-03
申请号：CN200510102528.0
申请日：2005-09-08
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Inventor： 冈城武敏
Abstract: 本发明涉及不用控制处理室的排气量就能够控制处理室内的压力，并且不给基板处理造成影响的基板处理装置和基板处理方法。该装置设置：使用处理气体对被处理基板实施处理的处理室102；将处理室内分隔为进行被处理基板处理的处理空间102A和排放出处理室内气体的排气空间102B，并且具有多个连通处理空间和排气空间的通气孔132的挡板130；向处理室内的处理空间供给处理气体的处理气体供给机构140；向处理室内的排气空间供给用来调节处理室内压力的压力调节气体的压力调节气体供给机构150；从处理气体供给机构供给处理气体时，通过压力调节气体供给机构供给压力调节气体，使处理空间压力达到预先设定压力的压力控制器180。
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公开(公告)号：CN102013388B
公开(公告)日：2013-09-25
申请号：CN201010264380.1
申请日：2010-08-20
Applicant: 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: C23C16/4405 , H01J37/32862
Abstract: 本发明提供一种高效率地去除堆积在ESC的外周部的以CF为主要成分且含有Si和Al的肩部堆积物的腔室内清洁方法。朝向ESC(24)的外周部(24a)以压力400～800mTorr供给由O2气体和含F气体构成的混合气体，有选择性地对ESC(24)的外周部(24a)照射由该混合气体生成的等离子体，并且，对ESC(24)的除外周部(24a)之外的上部表面供给作为掩蔽气体的O2单一气体，防止ESC(24)的除外周部(24a)之外的上部表面暴露于F自由基中，一边分解、去除附着在该外周部(24a)的肩部堆积物(50)。
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公开(公告)号：CN102013388A
公开(公告)日：2011-04-13
申请号：CN201010264380.1
申请日：2010-08-20
Applicant: 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: C23C16/4405 , H01J37/32862
Abstract: 本发明提供一种高效率地去除堆积在ESC的外周部的以CF为主要成分且含有Si和Al的肩部堆积物的腔室内清洁方法。朝向ESC(24)的外周部(24a)以压力400～800mTorr供给由O2气体和含F气体构成的混合气体，有选择性地对ESC(24)的外周部(24a)照射由该混合气体生成的等离子体，并且，对ESC(24)的除外周部(24a)之外的上部表面供给作为掩蔽气体的O2单一气体，防止ESC(24)的除外周部(24a)之外的上部表面暴露于F自由基中，一边分解、去除附着在该外周部(24a)的肩部堆积物(50)。
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公开(公告)号：CN101170057A
公开(公告)日：2008-04-30
申请号：CN200710181281.5
申请日：2007-10-26
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/00 , H01L21/683 , H01L21/02 , H01L21/67
Abstract: 本发明提供一种静电卡盘的诊断方法，其利用简单的方法对静电卡盘的寿命进行预测。在利用设置在载置台上部的静电卡盘对基板进行静电吸附、并且对该基板进行等离子体处理时，定期地对基板进行作为相同的等离子体处理的诊断用方案，对向静电卡盘的表面与基板的背面之间的间隙供给的背面气体的压力进行调整，使得此时的各基板的温度成为规定温度，记录该调整后的背面气体的压力，对该背面气体的压力的经时变化进行监视，由此，能够简便地预测静电卡盘的寿命。
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