公开(公告)号：CN114823267A

公开(公告)日：2022-07-29

申请号：CN202210032768.1

申请日：2022-01-12

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 佐藤诚人 ,  氏家智也 ,  仙田孝博

IPC: H01J37/32

Abstract: 本发明提供一种保持部件、上部电极组件以及等离子体处理装置，其能够将电极板悬挂保持于保持板。该保持部件在将电极板保持于保持板时使用，包括：第一部件，其具有轴部和卡定部，该轴部具有内螺纹部，该卡定部与上述轴部相比扩大形成；以及第二部件，其具有在一个方向延伸的长孔部，上述轴部穿过该长孔部上述第一部件构成为能够相对于上述第二部件进行滑动。

公开(公告)号：CN114496704A

公开(公告)日：2022-05-13

申请号：CN202111299136.3

申请日：2021-11-04

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 仙田孝博 ,  氏家智也 ,  佐藤诚人

IPC: H01J37/32

Abstract: 本发明提供一种能够将电极板悬挂保持于保持板的保持部件、上部电极组件、以及等离子体处理装置。该保持部件在将电极板保持于保持板时使用,其包括:轴部,其具有内螺纹部；以及卡定部,其在俯视时与上述轴部相比在至少一个方向扩大形成。