公开(公告)号：CN117917188B

公开(公告)日：2025-03-21

申请号：CN202380013510.X

申请日：2023-02-06

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 冈信介 ,  高桥阳 ,  田村大辅 ,  下村翔

IPC: H05H1/46 ,  H01L21/3065

Abstract: 本公开提供了一种用于对边缘环和静电吸盘之间供应的传热气体的泄漏量减少方法及等离子体处理装置。传热气体的泄漏量减少方法，包括：在具有静电吸盘的主体部上载置边缘环的工序；使所述静电吸盘吸附所述边缘环的工序；对所述边缘环进行升温的工序；对所述边缘环进行降温的工序；以及，反复进行多次所述进行升温的工序和所述进行降温的工序的工序。

公开(公告)号：CN117917188A

公开(公告)日：2024-04-19

申请号：CN202380013510.X

申请日：2023-02-06

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 冈信介 ,  高桥阳 ,  田村大辅 ,  下村翔

IPC: H05H1/46 ,  H01L21/3065

Abstract: 本公开提供了一种用于对边缘环和静电吸盘之间供应的传热气体的泄漏量减少方法及等离子体处理装置。传热气体的泄漏量减少方法，包括：在具有静电吸盘的主体部上载置边缘环的工序；使所述静电吸盘吸附所述边缘环的工序；对所述边缘环进行升温的工序；对所述边缘环进行降温的工序；以及，反复进行多次所述进行升温的工序和所述进行降温的工序的工序。