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公开(公告)号：CN114342101A
公开(公告)日：2022-04-12
申请号：CN202080061387.5
申请日：2020-09-18
Applicant: 东丽株式会社
Abstract: 本发明的目的是提供能够实现向半导体基板的均匀的杂质扩散、和丝网印刷时的优异的连续印刷性的杂质扩散组合物。为了达到上述目的，本发明的杂质扩散组合物具有以下构成。即，一种杂质扩散组合物，其包含(A)聚乙烯醇、(B)杂质扩散成分、和(C)硅氧烷，(A)聚乙烯醇的皂化度为20摩尔％以上且小于90摩尔％，(C)硅氧烷包含特定的部分结构。
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公开(公告)号：CN108028188A
公开(公告)日：2018-05-11
申请号：CN201680055017.4
申请日：2016-09-26
Applicant: 东丽株式会社
IPC: H01L21/225 , H01L31/18
CPC classification number: H01L21/225 , H01L31/18 , Y02E10/50
Abstract: 本发明的目的在于提供具有优异的向半导体衬底的扩散性和充分的对n型杂质的阻隔性的p型杂质扩散组合物。为了实现上述目的，本发明具有以下的构成。即，p型杂质扩散组合物，其含有(A)聚硅氧烷和(B)具有Si‑O‑B键的p型杂质扩散成分。
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公开(公告)号：CN113169247A
公开(公告)日：2021-07-23
申请号：CN201980077286.4
申请日：2019-11-27
Applicant: 东丽株式会社
IPC: H01L31/18 , H01L31/077 , H01L21/225
Abstract: 本发明的课题在于提供一种能够在半导体基板上均匀扩散和提高涂布液的保存稳定性的p型杂质扩散组合物。一种p型杂质扩散组合物，其包含(a)选自聚乙烯醇和聚环氧乙烷中的至少1种树脂、(b)溶剂以及(c)包含第13族元素的化合物，其特征在于，组合物的pH为4～6.5，(b)溶剂包含(b‑1)沸点为110℃以上、210℃以下的有机溶剂和(b‑2)水，(b‑2)水的量为(b)溶剂中的10～50质量％。
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公开(公告)号：CN111771258B
公开(公告)日：2024-08-09
申请号：CN201980015220.2
申请日：2019-03-07
Applicant: 东丽株式会社
IPC: H01L21/225 , H01L21/22 , H01L31/18
Abstract: 本发明的目的是提供涂布液的保存稳定性优异，能够提高丝网印刷时的连续印刷性、和向半导体基板均匀扩散的杂质扩散组合物。为了达到上述目的，本发明的杂质扩散组合物含有：(A)侧链包含选自下述通式(1)和通式(2)中的至少1个结构的聚合物(以下，称为(A)聚合物)；以及(B)杂质扩散成分。(在通式(1)和通式(2)中，R1～R14各自独立地表示氢原子、或碳原子数1～8的有机基。a1表示整数1～4，a2和a3各自独立地表示整数0～2。a2+a3表示整数0～3。*表示与聚合物的结合部分。)#imgabs0#
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公开(公告)号：CN111771258A
公开(公告)日：2020-10-13
申请号：CN201980015220.2
申请日：2019-03-07
Applicant: 东丽株式会社
IPC: H01L21/225 , H01L21/22 , H01L31/18
Abstract: 本发明的目的是提供涂布液的保存稳定性优异，能够提高丝网印刷时的连续印刷性、和向半导体基板均匀扩散的杂质扩散组合物。为了达到上述目的，本发明的杂质扩散组合物含有：(A)侧链包含选自下述通式(1)和通式(2)中的至少1个结构的聚合物(以下，称为(A)聚合物)；以及(B)杂质扩散成分。(在通式(1)和通式(2)中，R1～R14各自独立地表示氢原子、或碳原子数1～8的有机基。a1表示整数1～4，a2和a3各自独立地表示整数0～2。a2+a3表示整数0～3。*表示与聚合物的结合部分。)
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