公开(公告)号：CN113169247A

公开(公告)日：2021-07-23

申请号：CN201980077286.4

申请日：2019-11-27

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 北田刚 ,  橘邦彦 ,  秋本旭

IPC: H01L31/18 ,  H01L31/077 ,  H01L21/225

Abstract: 本发明的课题在于提供一种能够在半导体基板上均匀扩散和提高涂布液的保存稳定性的p型杂质扩散组合物。一种p型杂质扩散组合物，其包含(a)选自聚乙烯醇和聚环氧乙烷中的至少1种树脂、(b)溶剂以及(c)包含第13族元素的化合物，其特征在于，组合物的pH为4～6.5，(b)溶剂包含(b‑1)沸点为110℃以上、210℃以下的有机溶剂和(b‑2)水，(b‑2)水的量为(b)溶剂中的10～50质量％。

公开(公告)号：CN118648122A

公开(公告)日：2024-09-13

申请号：CN202380015392.6

申请日：2023-01-30

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 田边修平 ,  弓场智之 ,  橘邦彦

IPC: H01L31/068 ,  H01L21/22 ,  H01L21/225 ,  H01L31/18

Abstract: 本发明提供使用激光照射的方法稳定地形成p++的高浓度杂质扩散层、并且载流子寿命降低少的杂质扩散组合物以及使用该组合物制造太阳能电池的制造方法。一种杂质扩散组合物，含有(a‑1)通式(1)表示的化合物和/或聚乙烯醇，(a‑2)以无机氧化物作为主成分的平均粒径为200nm以下的粒子，和(a‑3)硼化合物，并且，相对于(a‑3)硼化合物100质量份，含有(a‑2)粒子5～50质量份(通式(1)中，R1～R4各自可以相同也可以不同，表示碳原子数1～3的1价有机基团，X1表示单键、或选自碳原子数1～3的亚甲基、‑CH2OCH2‑基中的至少一种有机基团；n1是2～4的整数，n2～n4各自可以相同也可以不同，表示0～2的整数，并且n1+n2+n3+n4＝4；m1是1～3的整数，m2～m3各自可以相同也可以不同，表示0～2的整数，并且m1+m2+m3＝3。)。#imgabs0#