显示板的检查方法和检查装置以及制造方法

    公开(公告)号:CN1699915A

    公开(公告)日:2005-11-23

    申请号:CN200510077538.3

    申请日:2002-02-28

    Abstract: 本发明的目的在于提供一种显示板的检查方法和检查装置以及制造方法,该方法根据被检查物的结构特性决定对表面形状的检查最佳的光学条件,并将决定的条件反映在检查装置中进行高精度的检查、不降低产量、提高合格率并且以高品质制造可靠性高的基板。本发明的显示板的检查方法的特征在于:具有照明手段、摄像手段和信号处理手段,一边使基板或照明手段和摄像手段向与在基板以指定的间隔涂布多条的荧光体层交叉的方向移动,一边进行荧光体层的明暗信号的测定,根据得到的信号测定各荧光体层的涂布量。

    显示面板的检查方法、检查装置以及制造方法

    公开(公告)号:CN1993599A

    公开(公告)日:2007-07-04

    申请号:CN200580026478.0

    申请日:2005-08-04

    CPC classification number: H01J9/227 G01B21/20 H01J9/42

    Abstract: 一种显示面板的检查方法、检查装置以及使用它们的制造方法,其特征在于:具有高度测定装置,使基板或高度测定装置向与以规定间隔多条地涂布在基板上的液状材料交叉的方向移动,同时离散地进行包括液状材料涂布部在内的基板面的高度测定,将从根据所得到的离散高度形状信号求取近似曲线而得到的高度形状信号中抽出每个液状材料的高度并进行连接而成的高度信号,作为检查信号,根据检查信号测定每个液状材料的涂布量。通过在荧光体糊涂布工序之后随即检查涂布工序的状态,可以迅速发现成为涂布工序发生连续缺陷的原因的不良状况,可以将成为不合格品损耗的基板数目抑制到最小限度,快速恢复工序。

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