公开(公告)号：CN1250953C

公开(公告)日：2006-04-12

申请号：CN02800551.1

申请日：2002-02-28

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 倉又理 ,  佐佐本裕方 ,  杉原洋樹 ,  津田敬治

IPC: G01M11/00 ,  G01N21/88 ,  H01J9/42 ,  H01J9/227

CPC classification number: H01J9/42 ,  G01N21/8806 ,  G01N21/95 ,  G01N2021/646 ,  G01N2021/9513 ,  H01J2217/49 ,  Y10S345/904

Abstract: 本发明的目的在于提供一种显示板的检查方法和检查装置以及制造方法，该方法根据被检查物的结构特性决定对表面形状的检查最佳的光学条件，并将决定的条件反映在检查装置中进行高精度的检查、不降低产量、提高合格率并且以高品质制造可靠性高的基板。本发明的显示板的检查方法的特征在于：具有照明手段、摄像手段和信号处理手段，一边使基板或照明手段和摄像手段向与在基板以指定的间隔涂布多条的荧光体层交叉的方向移动，一边进行荧光体层的明暗信号的测定，根据得到的信号测定各荧光体层的涂布量。

公开(公告)号：CN1457426A

公开(公告)日：2003-11-19

申请号：CN02800551.1

申请日：2002-02-28

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 倉又理 ,  佐佐本裕方 ,  杉原洋樹 ,  津田敬治

IPC: G01M11/00 ,  G01N21/956 ,  H01J9/42

CPC classification number: H01J9/42 ,  G01N21/8806 ,  G01N21/95 ,  G01N2021/646 ,  G01N2021/9513 ,  H01J2217/49 ,  Y10S345/904

Abstract: 本发明的目的在于提供一种显示板的检查方法和检查装置以及制造方法，该方法根据被检查物的结构特性决定对表面形状的检查最佳的光学条件，并将决定的条件反映在检查装置中进行高精度的检查、不降低产量、提高合格率并且以高品质制造可靠性高的基板。本发明的显示板的检查方法的特征在于：具有照明手段、摄像手段和信号处理手段，一边使基板或照明手段和摄像手段向与在基板以指定的间隔涂布多条的荧光体层交叉的方向移动，一边进行荧光体层的明暗信号的测定，根据得到的信号测定各荧光体层的涂布量。