公开(公告)号：CN102967266A

公开(公告)日：2013-03-13

申请号：CN201210067026.9

申请日：2012-03-14

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 和田浩光 ,  田嶋久容 ,  小山恭史 ,  滨川直良 ,  水原正志

IPC: G01B11/06

Abstract: 本发明是一种膜厚不均检查装置及方法，可获取明亮度及对比度适合检查的图像，而获得准确检查结果；其特征在于，一面使表面具有皮膜的衬底在一方向上移动，一面检查在衬底的皮膜的膜厚不均，且具备检测皮膜厚度的膜厚检测部，光源部包含在摄像部侧的反射照明部、及隔着衬底而与摄像部对向的透射照明部，摄像部包括调节与衬底的相对角度的摄像部角度调整机构，反射照明部包含调节反射照明部与衬底的相对角度的反射照明角度调整机构，透射照明部包含调节透射照明部与衬底的相对角度的透射照明角度调整机构，且该装置包括控制部，其基于来自膜厚检测部的膜厚信息，控制反射照明角度调整机构及透射照明角度调整机构，调节反射照明及透射照明的光量。

公开(公告)号：CN1834733B

公开(公告)日：2010-11-10

申请号：CN200610008010.5

申请日：2006-02-23

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 小山恭史 ,  田岛久容

IPC: G02F1/13 ,  G01N21/88

Abstract: 颜色云纹检查方法及其装置。本发明的课题是不受到个人差异、个人的状态差异的影响，而高精度地检查颜色云纹的有无、程度等。作为解决手段，本发明将聚光光学系统(34)的焦点调节为可去除网纹的状态，通过摄像装置(35)拍摄基板(31)，根据摄像数据检查颜色云纹的有无、程度等。

公开(公告)号：CN118369752A

公开(公告)日：2024-07-19

申请号：CN202280081104.2

申请日：2022-10-31

Applicant: 东丽工程株式会社 ,  塔斯米特株式会社

Inventor： 越智达也 ,  小山恭史 ,  神田和胜

IPC: H01L21/66 ,  G01N21/84 ,  G01N21/956

Abstract: 本发明提供一种晶片检查装置，在检查粘贴于膜材料的晶片时，能够可靠地进行保持而不会使易变形的膜材料发生局部变形(伸长等)。具体地说，该晶片检查装置对由粘贴于环状框架的粘接膜支承的晶片进行检查，其中，具有：保持部，其与所述粘接膜抵接而将所述晶片保持为规定的姿势；照明部，其朝向所述晶片照射照明光；拍摄部，其对所述晶片的外观和/或内部进行拍摄；以及检查部，其根据由所述拍摄部拍摄到的对所述晶片的外观和/或内部进行拍摄而得到的检查图像来进行检查，所述保持部的与所述粘接膜抵接的部位是多孔质部件，所述多孔质部件被配置成在设定于比所述晶片的外缘部靠外侧的位置的区域包围该晶片。

公开(公告)号：CN102967266B

公开(公告)日：2016-06-22

申请号：CN201210067026.9

申请日：2012-03-14

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 和田浩光 ,  田嶋久容 ,  小山恭史 ,  滨川直良 ,  水原正志

IPC: G01B11/06

Abstract: 本发明是一种膜厚不均检查装置及方法，可获取明亮度及对比度适合检查的图像，而获得准确检查结果；其特征在于，一面使表面具有皮膜的衬底在一方向上移动，一面检查在衬底的皮膜的膜厚不均，且具备检测皮膜厚度的膜厚检测部，光源部包含在摄像部侧的反射照明部、及隔着衬底而与摄像部对向的透射照明部，摄像部包括调节与衬底的相对角度的摄像部角度调整机构，反射照明部包含调节反射照明部与衬底的相对角度的反射照明角度调整机构，透射照明部包含调节透射照明部与衬底的相对角度的透射照明角度调整机构，且该装置包括控制部，其基于来自膜厚检测部的膜厚信息，控制反射照明角度调整机构及透射照明角度调整机构，调节反射照明及透射照明的光量。

公开(公告)号：CN1834733A

公开(公告)日：2006-09-20

申请号：CN200610008010.5

申请日：2006-02-23

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 小山恭史 ,  田岛久容

IPC: G02F1/13

Abstract: 颜色云纹检查方法及其装置。本发明的课题是不受到个人差异、个人的状态差异的影响，而高精度地检查颜色云纹的有无、程度等。作为解决手段，本发明将聚光光学系统(34)的焦点调节为可去除网纹的状态，通过摄像装置(35)拍摄基板(31)，根据摄像数据检查颜色云纹的有无、程度等。