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公开(公告)号：CN118369752A
公开(公告)日：2024-07-19
申请号：CN202280081104.2
申请日：2022-10-31
IPC: H01L21/66 , G01N21/84 , G01N21/956
Abstract: 本发明提供一种晶片检查装置，在检查粘贴于膜材料的晶片时，能够可靠地进行保持而不会使易变形的膜材料发生局部变形(伸长等)。具体地说，该晶片检查装置对由粘贴于环状框架的粘接膜支承的晶片进行检查，其中，具有：保持部，其与所述粘接膜抵接而将所述晶片保持为规定的姿势；照明部，其朝向所述晶片照射照明光；拍摄部，其对所述晶片的外观和/或内部进行拍摄；以及检查部，其根据由所述拍摄部拍摄到的对所述晶片的外观和/或内部进行拍摄而得到的检查图像来进行检查，所述保持部的与所述粘接膜抵接的部位是多孔质部件，所述多孔质部件被配置成在设定于比所述晶片的外缘部靠外侧的位置的区域包围该晶片。
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