膜厚不均检查装置及方法

    公开(公告)号:CN102967266B

    公开(公告)日:2016-06-22

    申请号:CN201210067026.9

    申请日:2012-03-14

    Abstract: 本发明是一种膜厚不均检查装置及方法,可获取明亮度及对比度适合检查的图像,而获得准确检查结果;其特征在于,一面使表面具有皮膜的衬底在一方向上移动,一面检查在衬底的皮膜的膜厚不均,且具备检测皮膜厚度的膜厚检测部,光源部包含在摄像部侧的反射照明部、及隔着衬底而与摄像部对向的透射照明部,摄像部包括调节与衬底的相对角度的摄像部角度调整机构,反射照明部包含调节反射照明部与衬底的相对角度的反射照明角度调整机构,透射照明部包含调节透射照明部与衬底的相对角度的透射照明角度调整机构,且该装置包括控制部,其基于来自膜厚检测部的膜厚信息,控制反射照明角度调整机构及透射照明角度调整机构,调节反射照明及透射照明的光量。

    标记装置及方法
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104159698A

    公开(公告)日:2014-11-19

    申请号:CN201380012855.X

    申请日:2013-02-13

    Abstract: 提供标记装置及方法,即使是被连续地输送的标记对象物(10)也能够在无偏移的状态下连续地标记规定的描绘图案,能够提高生产性,为此,在对标记对象物(10)标记描绘图案的标记装置(1)中,其特征在于,所述标记装置(1)具备:输送部(2),其沿着第一方向连续地输送标记对象物(10);沿着第一方向移动标记单元(4)的标记单元第一移动部(5)和沿着第二方向移动标记单元(4)的标记单元第二移动部(6);以及标记位置修正部(45),所述标记装置(1)具备总控制部(95),所述总控制部(95)对标记位置重合控制部(91)和同步移动控制部(93)进行控制,在沿着第一方向连续地输送标记对象物(10)的期间,将标记用光线(47)向标记对象物上的第一方向和第二方向的相同位置照射规定的时间。

    标记装置及方法
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN104159698B

    公开(公告)日:2016-04-27

    申请号:CN201380012855.X

    申请日:2013-02-13

    Abstract: 提供标记装置及方法,即使是被连续地输送的标记对象物(10)也能够在无偏移的状态下连续地标记规定的描绘图案,能够提高生产性,为此,在对标记对象物(10)标记描绘图案的标记装置(1)中,其特征在于,所述标记装置(1)具备:输送部(2),其沿着第一方向连续地输送标记对象物(10);沿着第一方向移动标记单元(4)的标记单元第一移动部(5)和沿着第二方向移动标记单元(4)的标记单元第二移动部(6);以及标记位置修正部(45),所述标记装置(1)具备总控制部(95),所述总控制部(95)对标记位置重合控制部(91)和同步移动控制部(93)进行控制,在沿着第一方向连续地输送标记对象物(10)的期间,将标记用光线(47)向标记对象物上的第一方向和第二方向的相同位置照射规定的时间。

    膜厚不均检查装置及方法

    公开(公告)号:CN102967266A

    公开(公告)日:2013-03-13

    申请号:CN201210067026.9

    申请日:2012-03-14

    Abstract: 本发明是一种膜厚不均检查装置及方法,可获取明亮度及对比度适合检查的图像,而获得准确检查结果;其特征在于,一面使表面具有皮膜的衬底在一方向上移动,一面检查在衬底的皮膜的膜厚不均,且具备检测皮膜厚度的膜厚检测部,光源部包含在摄像部侧的反射照明部、及隔着衬底而与摄像部对向的透射照明部,摄像部包括调节与衬底的相对角度的摄像部角度调整机构,反射照明部包含调节反射照明部与衬底的相对角度的反射照明角度调整机构,透射照明部包含调节透射照明部与衬底的相对角度的透射照明角度调整机构,且该装置包括控制部,其基于来自膜厚检测部的膜厚信息,控制反射照明角度调整机构及透射照明角度调整机构,调节反射照明及透射照明的光量。

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