公开(公告)号：CN1486507A

公开(公告)日：2004-03-31

申请号：CN01822139.4

申请日：2001-09-06

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 山内朗 ,  上西孝史

IPC: H01L21/60 ,  H01L21/52

CPC classification number: H01L23/544 ,  H01L2223/54473 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: 一种对准方法和装置，调整第一被键合物与有被覆材料的第二被键合物之间的相对位置时，用识别装置识别第一被键合物的标记的位置，同时以该识别位置为基准，在与第二被键合物的被覆材料外侧的区域对应的位置上，在画面上显示代表第一被键合物的位置的基准标记，用识别装置识别附加在第二被键合物的被覆材料外侧的第二被键合物的标记的位置，同时在上述画面上显示该识别位置，校正第二被键合物的位置，以便第二被键合物的标记的位置相对于基准标记的位置进入容许精度内。

公开(公告)号：CN1258809C

公开(公告)日：2006-06-07

申请号：CN01822139.4

申请日：2001-09-06

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 山内朗 ,  上西孝史

IPC: H01L21/60 ,  H01L21/52

CPC classification number: H01L23/544 ,  H01L2223/54473 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: 一种对准方法和装置，调整第一被键合物与有被覆材料的第二被键合物之间的相对位置时，用识别装置识别第一被键合物的标记的位置，同时以该识别位置为基准，在与第二被键合物的被覆材料外侧的区域对应的位置上，在画面上显示代表第一被键合物的位置的基准标记，用识别装置识别附加在第二被键合物的被覆材料外侧的第二被键合物的标记的位置，同时在上述画面上显示该识别位置，校正第二被键合物的位置，以便第二被键合物的标记的位置相对于基准标记的位置进入容许精度内。

公开(公告)号：CN1827280A

公开(公告)日：2006-09-06

申请号：CN200610058852.1

申请日：2006-03-02

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 今井宏一 ,  上西孝史

IPC: B23K20/10 ,  B06B1/00 ,  B06B3/00 ,  H01L21/607

Abstract: 本发明揭示一种超声波键合头及采用超声波键合头的装置，在传能器的前端中间形成凹下部分，将吸附构件放置在该凹下部分的中间，该吸附构件具有从传能器前端突出的吸附区域即凸起部分。在吸附构件的下部具有面向传能器凹下部分的底面呈锥体状加宽的侧面部分，该侧面部分的斜面与保持构件接触，通过将该保持构件与传能器的凹下部分紧固，从而夹住吸附构件的侧面部分，与传能器的凹下部分紧固。