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公开(公告)号：CN101609193A
公开(公告)日：2009-12-23
申请号：CN200910055394.X
申请日：2009-07-24
Applicant: 上海微电子装备有限公司
Abstract: 一种可动光学元件调节定位装置，涉及一种光刻设备，该装置中可动镜组通过板簧片固定在主镜筒上，可动镜组在驱动电机作用下可以沿光轴运动或是进行水平向倾斜调整，驱动电机驱动采用无隙挠性轴承的驱动机构中杠杆机构长柄，其短柄驱动可动镜组沿光轴运动，本调节定位装置轴向运动精度可达到0.5μm以下，水平向调整精度可达0.5mrad。本调节定位装置结构紧凑，运行平稳，无摩擦，无润滑，低滞后性，且重复性好，可动镜组运动行程可达到0.2mm，线性度极好。
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公开(公告)号：CN102375200B
公开(公告)日：2013-12-18
申请号：CN201010256222.1
申请日：2010-08-18
Applicant: 上海微电子装备有限公司
Abstract: 本发明的可调光学元件的径向调节装置包括一可调镜组、至少一径向调节机构、一固定镜座、至少一电机组件、一弹性柱塞和一轴向支撑机构；所述可调镜组通过所述轴向支撑机构设置在所述固定镜座内，所述轴向支撑机构用于支撑所述可调镜组并保证所述可调镜组轴向位移不变；所述弹性柱塞固定设置在所述固定镜座内，该弹性柱塞的一端与所述可调镜组弹性连接；所述径向调节机构设置在所述固定镜座内，该径向调节机构与所述可调镜组径向移动连接；所述电机组件与所述径向调节机构连接；所述电机组件驱动所述径向调节机构运动，从而带动所述可调镜组径向移动，所述弹性柱塞用于保持所述可调镜组在径向上的平衡。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102375200A
公开(公告)日：2012-03-14
申请号：CN201010256222.1
申请日：2010-08-18
Applicant: 上海微电子装备有限公司
Abstract: 本发明的可调光学元件的径向调节装置包括一可调镜组、至少一径向调节机构、一固定镜座、至少一电机组件、一弹性柱塞和一轴向支撑机构；所述可调镜组通过所述轴向支撑机构设置在所述固定镜座内，所述轴向支撑机构用于支撑所述可调镜组并保证所述可调镜组轴向位移不变；所述弹性柱塞固定设置在所述固定镜座内，该弹性柱塞的一端与所述可调镜组弹性连接；所述径向调节机构设置在所述固定镜座内，该径向调节机构与所述可调镜组径向移动连接；所述电机组件与所述径向调节机构连接；所述电机组件驱动所述径向调节机构运动，从而带动所述可调镜组径向移动，所述弹性柱塞用于保持所述可调镜组在径向上的平衡。
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公开(公告)号：CN101609193B
公开(公告)日：2011-05-11
申请号：CN200910055394.X
申请日：2009-07-24
Applicant: 上海微电子装备有限公司
Abstract: 一种可动光学元件调节定位装置，涉及一种光刻设备，该装置中可动镜组通过板簧片固定在主镜筒上，可动镜组在驱动电机作用下可以沿光轴运动或是进行水平向倾斜调整，驱动电机驱动采用无隙挠性轴承的驱动机构中杠杆机构长柄，其短柄驱动可动镜组沿光轴运动，本调节定位装置轴向运动精度可达到0.5μm以下，水平向调整精度可达0.5mrad。本调节定位装置结构紧凑，运行平稳，无摩擦，无润滑，低滞后性，且重复性好，可动镜组运动行程可达到0.2mm，线性度极好。
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公开(公告)号：CN101526657B
公开(公告)日：2010-12-08
申请号：CN200910044991.2
申请日：2009-01-07
Applicant: 上海微电子装备有限公司
Abstract: 一种可动镜片调节装置，用于调整可动件相对于固定件的轴向位置。可动镜片调节装置沿光轴依次包括主镜筒、圆周楔形块和多个滚轮。固定件固定在主镜筒内。圆周楔形块为沿主镜筒的圆周方向轴向厚度连续增大的楔形块，圆周楔形块可转动的设置在主镜筒下方。这些滚轮的轴固定在可动件上，这些滚轮放置在圆周楔形块的楔形面上，用于沿楔形面滚动。其中这些滚轮在楔形面上滚动时，可动件沿轴向移动。可动镜片调节装置的调整精度高，重复性好，且活动件运动形成大，线性度好。
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公开(公告)号：CN101526657A
公开(公告)日：2009-09-09
申请号：CN200910044991.2
申请日：2009-01-07
Applicant: 上海微电子装备有限公司
Abstract: 一种可动镜片调节装置，用于调整可动件相对于固定件的轴向位置。可动镜片调节装置沿光轴依次包括主镜筒、圆周楔形块和多个滚轮。固定件固定在主镜筒内。圆周楔形块为沿主镜筒的圆周方向轴向厚度连续增大的楔形块，圆周楔形块可转动的设置在主镜筒下方。这些滚轮的轴固定在可动件上，这些滚轮放置在圆周楔形块的楔形面上，用于沿楔形面滚动。其中这些滚轮在楔形面上滚动时，可动件沿轴向移动。可动镜片调节装置的调整精度高，重复性好，且活动件运动形成大，线性度好。
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公开(公告)号：CN101464554A
公开(公告)日：2009-06-24
申请号：CN200810204974.6
申请日：2008-12-30
Applicant: 上海微电子装备有限公司
Abstract: 本发明涉及光刻机设备，尤其是涉及光刻设备中的可动镜片微调整机构。公开了一种可动镜片微调整机构，包括一驱动部件和一执行部件，所述驱动部件带动执行部件调整镜片座，所述执行部件是用于将驱动部件的输出力进行放大的两级杠杆机构。两级杠杆机构结构简单、制造及控制容易实现、成本低、经济性好，其可对驱动部件的输出位移可进行有效放大，配合微亚米级运动精度的步进电机，实对镜片高精度大行程的调整。另外，由于两级杠杆机构采用交叉的安装形式，因此，可以使本发明在满足对镜片高精度大行程的调整情况下有效减少其整体尺寸。
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