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公开(公告)号：CN105739554A
公开(公告)日：2016-07-06
申请号：CN201410740402.5
申请日：2014-12-07
Applicant: 上海微电子装备有限公司
IPC: G05D16/04
Abstract: 本发明提供了一种气压控制装置及气压控制系统，通过在气压控制装置中的供气回路中增设若干组压力调控单元，使得气压控制装置可以对经过初级调压阀及次级调压阀调控后的压力在不符合被调压对象的压力需求时，可以通过调节若干组压力调控单元中手动阀连通毛细管或者单元管道对气体压力做进一步的调节，从而使被调压对象的进气端的气体压力值符合被调压对象的需求，从而提高了气压控制装置的压力控制精准度及被调压对象的稳定性。
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