公开(公告)号：CN116758974A

公开(公告)日：2023-09-15

申请号：CN202310680923.5

申请日：2023-06-09

Applicant: 上海工程技术大学

Inventor： 陈云壮 ,  赖磊捷

IPC: G12B5/00

Abstract: 本发明涉及一种宏微并行双驱动的二自由度解耦柔性纳米定位平台，包括：平台底板、两个压电陶瓷驱动器、两个音圈电机、两个音圈电机连接板、两组嵌入微平台的宏微并联复合机构、八组双平行四边形导向机构、四组单直梁簧片、末端执行器；第一组嵌入微平台的宏微并联复合机构的底部刚性杆和第二组宏微并联复合机构底部刚性杆分别与第一音圈电机连接板和第二音圈电机连接板连接；两组嵌入微平台的宏微并联复合机构均将音圈电机的位移和压电陶瓷驱动器的位移传递至末端执行器。与现有技术相比，本发明通过并联配置的方式实现了平面二自由度大行程范围内的快速纳米定位，可以快速补偿音圈电机驱动宏平台末端执行器的运动误差以及交叉轴耦合误差。

公开(公告)号：CN114477080A

公开(公告)日：2022-05-13

申请号：CN202210054000.4

申请日：2022-01-18

Applicant: 上海工程技术大学

Inventor： 陈云壮 ,  赖磊捷 ,  吴海涛

IPC: B81C99/00

Abstract: 本发明涉及一种嵌入Scott‑Russell机构的复合桥式二自由度解耦微位移定位平台，包括固定机架、位移输入平台、运动输入机构、嵌入Scott‑Russell机构的复合桥式机构、双平行四边形导向系统及工作平台；运动输入机构的两端分别连接一个位移输入平台；运动输入机构通过复合桥式机构与双平行四边形导向系统传动连接，工作平台与双平行四边形导向系统相连。与现有技术相比，本发明依靠嵌入Scott‑Russell机构的复合桥式机构和双平行四边形导向机构，解决了现有技术中固有频率低以及输出耦合高等问题，此外，这种组合设计还有助于提高结构刚度，增加二自由度柔性解耦微位移定位工作台在工作过程中的稳定性。