公开(公告)号：CN118438343A

公开(公告)日：2024-08-06

申请号：CN202410692055.7

申请日：2024-05-31

Applicant: 上海工程技术大学

Inventor： 王宝秀 ,  易江凡 ,  汪文君 ,  陈佳鹏 ,  江振林 ,  孙韬

IPC: B24B37/24 ,  B24D18/00

Abstract: 本发明属于聚氨酯材料技术领域，涉及一种有机压电聚氨酯抛光垫及其制备方法。制备方法：在制备聚氨酯抛光垫的过程中，于聚醚多元醇与异氰酸酯反应前，向聚醚多元醇中分批加入PVDF纤维，并搅拌至PVDF纤维均匀地分散在聚醚多元醇中，最终得到的聚氨酯抛光垫即为有机压电聚氨酯抛光垫；制得的有机压电聚氨酯抛光垫包括聚氨酯基体和PVDF纤维，聚氨酯基体具有孔洞结构，PVDF纤维以网状结构分布在聚氨酯基体中。本发明的方法简单，制得的有机压电聚氨酯抛光垫具有良好的抛光效果与抛光效率。

公开(公告)号：CN118221897A

公开(公告)日：2024-06-21

申请号：CN202410319238.4

申请日：2024-03-20

Applicant: 上海工程技术大学

Inventor： 易江凡 ,  汪文君 ,  王宝秀 ,  陈佳鹏 ,  江振林 ,  骆慧 ,  孙韬

IPC: C08G18/48 ,  C08K9/06 ,  C08K3/24 ,  C08K3/22 ,  B24B37/24 ,  C08G101/00

Abstract: 本发明属于聚氨酯抛光垫领域，涉及一种压电聚氨酯抛光垫及其制备方法，压电聚氨酯抛光垫材质为改性聚氨酯，改性聚氨酯为分子链中嵌有羟基化改性压电材料颗粒的聚氨酯；制备方法为：在制备聚氨酯抛光垫的过程中，于聚醚多元醇与异氰酸酯反应前，在聚醚多元醇中加入羟基化改性压电材料颗粒，最终得到的聚氨酯抛光垫即为压电聚氨酯抛光垫。本发明的制备方法简单，制得的聚氨酯抛光垫具有压电效应，在CMP抛光过程中的抛光效果与抛光效率优异。