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公开(公告)号：CN115889152A
公开(公告)日：2023-04-04
申请号：CN202211278493.6
申请日：2022-10-19
Applicant: 上海大学
IPC: B06B1/06
Abstract: 本发明公开了一种提高柔性PMUT器件性能的结构及其制作方法，包括：压电薄膜结构，粘结层和柔性衬底；压电薄膜结构从上至下依次为：顶电极、压电层、底电极、支撑层和填充层。制作步骤：在刚性PMUT的顶部旋涂保护层并加热固化；将压电薄膜结构与刚性衬底分离，得到压电薄膜结构；对支撑层进行图案化刻蚀，形成通孔；向通孔内填充柔性材料，对支撑层的未刻蚀部分进行柔性材料的旋涂，形成粘结层；将所得结构转移到带有空腔的柔性衬底上；对所得结构进行加热固化；将所得结构浸泡在有机溶液中除去保护层后得到柔性PMUT结构。本发明制作工艺简单，通过柔性材料填充支撑层，增加了PMUT的振动幅值，大幅提升了PMUT器件的性能。
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