公开(公告)号：CN1458129A

公开(公告)日：2003-11-26

申请号：CN03114880.8

申请日：2003-01-14

Applicant: 上海大学

Inventor： 夏义本 ,  王林军 ,  方志军 ,  莫要武 ,  簧晓琴 ,  戴雯琦 ,  文黎星 ,  张文广

IPC: C04B41/85 ,  C23C16/50 ,  C23C16/27

Abstract: 本发明述及一种在氧化铝陶瓷上进行金刚石薄膜定向生长的方法，其特征在于采用微波等离子体化学气相沉积法进行金刚石薄膜定向沉积，其工艺步骤如下：a.在未沉积金刚石膜之前，采用碳离子注入处理法+对氧化铝陶瓷进行碳离子注入，然后在含有氮气和氢气的混合气氛下进行微波等离子体高温退火处理；b.在经退火处理的氧化铝陶瓷上进行金刚石膜的定向沉积，即将氧化铝陶瓷放置在微波等离子体辐射的石英管反应室中，反应室抽真空并送入氢气和甲烷的混合气体，在特殊装置中和特定工艺下，进行气相沉积金刚石薄膜，而且是定向晶粒形成的金刚石薄膜。

公开(公告)号：CN1188160A

公开(公告)日：1998-07-22

申请号：CN97106741.4

申请日：1997-11-24

Applicant: 上海大学

Inventor： 夏义本 ,  居建华 ,  史伟民 ,  莫要武 ,  安其霖 ,  王鸿

IPC: C23C16/26 ,  G02B1/11

Abstract: 金刚石复合膜是属于薄膜技术领域,它是以高频等离子体法制成的类金刚石膜上再以微波等离子体法化学气相沉积而成。涂覆于硅太阳能电池及红外探测器上,具有光学增透效应。本发明解决了此类光电器件的光电转换效应及光透性差的问题,且又有更佳的钝化作用,尤其使硅太阳能电池光谱响应波长范围拉宽,增透率为40%理论值接近,用于红外探测器特别Hgde器件上解决了光透材料,使平均透过率提高。