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发明公开
类金刚石与金刚石复合膜作新型光学增透膜无效

公开(公告)号：CN1188160A

公开(公告)日：1998-07-22

申请号：CN97106741.4

申请日：1997-11-24

Applicant: 上海大学

Inventor： 夏义本 , 居建华 , 史伟民 , 莫要武 , 安其霖 , 王鸿

IPC: C23C16/26 , G02B1/11

Abstract: 金刚石复合膜是属于薄膜技术领域,它是以高频等离子体法制成的类金刚石膜上再以微波等离子体法化学气相沉积而成。涂覆于硅太阳能电池及红外探测器上,具有光学增透效应。本发明解决了此类光电器件的光电转换效应及光透性差的问题,且又有更佳的钝化作用,尤其使硅太阳能电池光谱响应波长范围拉宽,增透率为40%理论值接近,用于红外探测器特别Hgde器件上解决了光透材料,使平均透过率提高。

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