公开(公告)号：CN104898413A

公开(公告)日：2015-09-09

申请号：CN201510140938.8

申请日：2015-03-27

Applicant: 上海大学

Inventor： 张东亚 ,  钱晋武 ,  章亚男 ,  沈林勇 ,  王成刚

IPC: G05B13/04

Abstract: 本发明公开了一种大行程高分辨率驱动器系统，其由机械驱动部分、数据采集部分和计算机控制部分三部分组成，机械驱动部分包括伺服电机等元件，伺服电机与电机支座固定，伺服电机的输出轴通过联轴器与滚珠丝杆相连接，滚珠丝杆穿过轴承座，丝杆螺母与螺母套的一端固定在一起，螺母套的另一端与角板固定在一起，角板固定在滑台组件上面，角板的一侧安装有顶杆，伺服电机的旋转运动能够最终转换为顶杆的直线运动；数据采集部分包括相互连接的双频激光干涉仪和数据采集卡AD口，计算机控制部分包括相互连接的工业计算机和数据采集卡DA口。本发明移动范围较大，通过初步搭建的实验平台已经能够实现100nm的分辨率。

公开(公告)号：CN203522426U

公开(公告)日：2014-04-02

申请号：CN201320577001.3

申请日：2013-09-18

Applicant: 上海大学

Inventor： 章亚男 ,  葛磐 ,  孙麟治 ,  沈林勇 ,  钱晋武 ,  王成刚

IPC: H02K7/10 ,  H02K7/06

Abstract: 本实用新型涉及一种大行程微位移驱动器。它由步进电机、谐波减速器、丝杆螺母副和推杆顺序连接，丝杠螺母副置于精密导轨上，丝杠螺母副和精密导轨之间有一个L形隔板，位移输出的推杆和隔板相连。此种微位移驱动器只有一个控制步进电机的单一控制单元，输出位移通过电机控制器和谐波减速器的两级细分后可达到纳米量级。另外，机械式的结构又保证了驱动器具有几十毫米的位移行程。

公开(公告)号：CN201525884U

公开(公告)日：2010-07-14

申请号：CN200920071410.X

申请日：2009-04-30

Applicant: 上海大学

Inventor： 王成刚 ,  李桂琴 ,  陆利新 ,  王燕

IPC: C23C16/455

Abstract: 本实用新型涉及一种平板式布气装置，用于连续式PECVD系统。它包括一种平板式布气装置，包括一个布气罐、一个进气管和一个布气板，所述布气罐中心螺孔与所述进气管的外螺纹中心旋配，实现进气管的出口与布气板的距离可调；所述布气板与布气罐之间是四个螺栓连接；所述布气板上均布小孔，该均布的小孔按所在径向位置改变直径，使得气流流量有所补偿，实现气流的均匀性分布。本实用新型的平板式布气机构提高了光伏电池薄膜的成膜速率和大面积均匀性，并可获得较好的太阳能的转化率。