波长移相中基于FAST‑ICA算法的超薄平板干涉信号分离处理方法

    公开(公告)号:CN107024186A

    公开(公告)日:2017-08-08

    申请号:CN201710180047.4

    申请日:2017-03-24

    Applicant: 上海大学

    CPC classification number: G01B11/2441 G01B9/02083 G06F17/16

    Abstract: 本发明涉及一种波长移相中基于FAST‑ICA算法的超薄平板干涉信号分离处理方法。本发明在波长移相干涉测量获得的超薄平行平板干涉信号后利用盲信号分离技术,引入FAST‑ICA算法,通过快速迭代算法分离超薄平板前后表面干涉条纹,然后通过时域移相算法处理分离后的干涉条纹,从而得到前后表面的面形信息。该方法主要针对波长移相中超薄平行平板的条纹图处理,为这类超薄平板前后表面信息分离提供了一种方法,可用于实现超薄平板前后表面面形的分离测量。

    自动数显式千分表标定系统及方法

    公开(公告)号:CN106568359A

    公开(公告)日:2017-04-19

    申请号:CN201610965723.4

    申请日:2016-10-28

    Applicant: 上海大学

    CPC classification number: G01B3/22

    Abstract: 本发明涉及一种自动数显式千分表标定系统及方法。本系统包括PC机(1),数控电机(2),减速器(3),待标定仪器(4)和CCD摄像头(5)。在标定的过程中通过控制电机的转动速度、方向,从而得到电机带动千分表测头移动的行程。以得到实际值与准确值来计算出被标定数显式千分表的绝对误差及相对误差,进而判断千分表的准确度。在操作方法部分,提供了两种采样模式分别是手动采样模式和自动采样模式。在手动采样模式下,用户每次手动点击一次手动采样按钮就会使电机完成一次转动,并且读取到千分表测头的行程,同时CCD摄取到数显屏的图片并且通过OCR转换为数字信号,并处理结果得到相对误差和绝对误差。在自动采样模式下,用户手动点击一次自动采样的按钮,系统就会按照事先设定好的测量测次数来完成测量而不用手动的重复点击。最后,测量结束的结果会形成一条误差曲线和一个误差表格并可以打印出来。

    卧式圆柱度误差干涉拼接测量装置及其调整方法

    公开(公告)号:CN105737760A

    公开(公告)日:2016-07-06

    申请号:CN201610103200.9

    申请日:2016-02-25

    Applicant: 上海大学

    CPC classification number: G01B11/2441

    Abstract: 本发明涉及一种卧式圆柱度误差干涉拼接测量装置及其调整方法,测量装置包括干涉仪、基座、支架、六自由度调整架、CGH、一维调整平台、被测件、自定心旋转台、转接板、夹具体、顶尖、一维移动导轨、二轴倾斜调整台和二维移动平台。测量方法是通过调整各个移动平台,实现被测件表面全部形貌信息的获取。本发明有效地解决了大尺寸轴类零件采用干涉拼接方法测量圆柱度误差检测中的装夹以及位姿调整等问题,可实现柱面零件表面全貌信息的获取,充分提高轴类零件圆柱度误差评定的采样密度,进而提高评定结果的准确性与可靠性。能够方便、快速、准确、有效地调整被测件的位姿以满足测量要求,实现其全口径检测。

    立式球面干涉拼接测量装置及其调整方法

    公开(公告)号:CN106979857B

    公开(公告)日:2019-10-11

    申请号:CN201710111478.5

    申请日:2017-02-28

    Applicant: 上海大学

    Abstract: 本发明涉及一种立式球面干涉拼接测量装置及其调整方法。装置包括干涉仪、球面波转换镜、三维调整机构A、三维调整机构B、二维调整机构、PC机、被测球面、支架;调整方法用于对上述的球面干涉拼接测量装置进行调整。本装置能过方便、快速、准确的调整球面被测件以满足测量的要求,有效的解决了被测球面零件在测量中安装和调整的问题,能够通过调整被测件位置解决大数值孔径的球面被测件的子孔径拼接测量,实现全孔径检测。

    处理波长移相干涉中超薄平行平板交叉式干涉条纹方法

    公开(公告)号:CN106949846B

    公开(公告)日:2018-12-07

    申请号:CN201710084247.X

    申请日:2017-02-16

    Applicant: 上海大学

    Abstract: 本发明涉及一种处理波长移相干涉中超薄平行平板交叉式干涉条纹方法,在波长移相干涉测量获得的超薄平行平板干涉图时引入sobel算子,通过空间方向滤波分离超薄平板前后表面干涉条纹,然后通过时域移相算法处理分离后的干涉条纹,从而得到前后表面的面形信息。该方法主要针前后表面产生交叉式干涉条纹的超薄平行平板的条纹图处理,可用于实现超薄平板前后表面面形的分离测量。

    处理波长移相干涉中超薄平行平板交叉式干涉条纹方法

    公开(公告)号:CN106949846A

    公开(公告)日:2017-07-14

    申请号:CN201710084247.X

    申请日:2017-02-16

    Applicant: 上海大学

    CPC classification number: G01B11/2441

    Abstract: 本发明涉及一种处理波长移相干涉中超薄平行平板交叉式干涉条纹方法,在波长移相干涉测量获得的超薄平行平板干涉图时引入sobel算子,通过空间方向滤波分离超薄平板前后表面干涉条纹,然后通过时域移相算法处理分离后的干涉条纹,从而得到前后表面的面形信息。该方法主要针前后表面产生交叉式干涉条纹的超薄平行平板的条纹图处理,可用于实现超薄平板前后表面面形的分离测量。

    波长移相算法灵敏度测试系统及测试方法

    公开(公告)号:CN107202548B

    公开(公告)日:2019-10-11

    申请号:CN201710364056.9

    申请日:2017-05-22

    Applicant: 上海大学

    Abstract: 本发明涉及一种波长移相算法灵敏度测试系统及测试方法,波长调谐激光器发射的激光在光路系统中分别从待测件与参考镜反射回来并发生干涉,CCD接收从待测件与参考镜返回的干涉激光并记录干涉光强。根据硬件移相原理通过压电陶瓷一调整参考镜的位置测量待测件面形W1;利用波长移相算法通过改变波长测量被测件面形W2。确定当|W2‑W1|最小时的干涉腔长。通过压电陶瓷二调整待测件的位置,利用激光多普勒干涉仪记录压电陶瓷二移动距离L。利用波长移相算法分析压电陶瓷二移动L后的待测件面形W3,分析压电陶瓷二调整前后测得的待测件面形W3和W2之间的差值是否与压电陶瓷二的移动距离L一致,从而得到波长移相算法精度,达到标定测量精度的目的。

    波长移相算法灵敏度测试系统及测试方法

    公开(公告)号:CN107202548A

    公开(公告)日:2017-09-26

    申请号:CN201710364056.9

    申请日:2017-05-22

    Applicant: 上海大学

    Abstract: 本发明涉及一种波长移相算法灵敏度测试系统及测试方法,波长调谐激光器发射的激光在光路系统中分别从待测件与参考镜反射回来并发生干涉,CCD接收从待测件与参考镜返回的干涉激光并记录干涉光强。根据硬件移相原理通过压电陶瓷一调整参考镜的位置测量待测件面形W1;利用波长移相算法通过改变波长测量被测件面形W2。确定当|W2‑W1|最小时的干涉腔长。通过压电陶瓷二调整待测件的位置,利用激光多普勒干涉仪记录压电陶瓷二移动距离L。利用波长移相算法分析压电陶瓷二移动L后的待测件面形W3,分析压电陶瓷二调整前后测得的待测件面形W3和W2之间的差值是否与压电陶瓷二的移动距离L一致,从而得到波长移相算法精度,达到标定测量精度的目的。

    立式球面干涉拼接测量装置及其调整方法

    公开(公告)号:CN106979857A

    公开(公告)日:2017-07-25

    申请号:CN201710111478.5

    申请日:2017-02-28

    Applicant: 上海大学

    Abstract: 本发明涉及一种立式球面干涉拼接测量装置及其调整方法。装置包括干涉仪、球面波转换镜、三维调整机构A、三维调整机构B、二维调整机构、PC机、被测球面、支架;调整方法用于对上述的球面干涉拼接测量装置进行调整。本装置能过方便、快速、准确的调整球面被测件以满足测量的要求,有效的解决了被测球面零件在测量中安装和调整的问题,能够通过调整被测件位置解决大数值孔径的球面被测件的子孔径拼接测量,实现全孔径检测。

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