公开(公告)号：CN103994731B

公开(公告)日：2017-03-15

申请号：CN201410223665.9

申请日：2014-05-26

Applicant: 上海大学

Inventor： 于瀛洁 ,  许海峰 ,  彭军政 ,  葛东宝 ,  宋琨鹏

IPC: G01B11/24

Abstract: 本发明涉及一种圆柱度误差干涉测量装置及其调整方法。它包括干涉仪、支座、六维调整架、CGH、一维导轨平台、被测件、四维调整机构、五维调整机构、电控升降台。所述支座上安装干涉仪和一维导轨平台，一维导轨平台上安装六维调整架，将CGH安装在六维调整架上，使干涉仪出射光轴能够通过CGH中心，并且能调整CGH与被测件之间的距离；由所述四维调整机构、五维调整机构和电控升降台组成被测件调节机构，被测件调节机构下端是电控升降台。通过调节四维调整平台使被测件轴心线与五维调整平台上的转动平台的轴心线重合；再调节五维调整平台使转动平台的轴心线与CGH产生的柱面焦线精确重合；通过转动平台并配合升降台，实现柱型被测件的面型的整周检测。

公开(公告)号：CN105737760A

公开(公告)日：2016-07-06

申请号：CN201610103200.9

申请日：2016-02-25

Applicant: 上海大学

Inventor： 汪清泉 ,  齐特 ,  于瀛洁 ,  宋琨鹏 ,  牟柯冰

IPC: G01B11/24

CPC classification number: G01B11/2441

Abstract: 本发明涉及一种卧式圆柱度误差干涉拼接测量装置及其调整方法，测量装置包括干涉仪、基座、支架、六自由度调整架、CGH、一维调整平台、被测件、自定心旋转台、转接板、夹具体、顶尖、一维移动导轨、二轴倾斜调整台和二维移动平台。测量方法是通过调整各个移动平台，实现被测件表面全部形貌信息的获取。本发明有效地解决了大尺寸轴类零件采用干涉拼接方法测量圆柱度误差检测中的装夹以及位姿调整等问题，可实现柱面零件表面全貌信息的获取，充分提高轴类零件圆柱度误差评定的采样密度，进而提高评定结果的准确性与可靠性。能够方便、快速、准确、有效地调整被测件的位姿以满足测量要求，实现其全口径检测。

公开(公告)号：CN105371782A

公开(公告)日：2016-03-02

申请号：CN201510871271.9

申请日：2015-12-02

Applicant: 上海大学

Inventor： 于瀛洁 ,  宋琨鹏 ,  汪清泉 ,  齐特 ,  郭红卫

IPC: G01B11/24

Abstract: 本发明涉及一种旋转式球面干涉拼接测量装置，包含计算机、干涉仪、气浮平台、被测球面、被测件调整机构，所述干涉仪和被测件调整机构安放在气浮平台上，所述被测球面安装在被测件调整机构上，所述计算机连接干涉仪，处理干涉仪采集的测量数据，获取被测球面的误差信息；所述被测件调整机构由七自由度调整机构构成，即五个直线移动平台，和两个转动平台，其中五个直线移动平台用于调整被测球面的位置，使干涉仪发出的球面波的焦点和被测球面的球心重合，两个转动平台用于被测球面的旋转，实现拼接测量。本装置可以减小被测球面的调整误差，提高测量精度，通过干涉拼接获取被测球面的完整面形。

公开(公告)号：CN105486246A

公开(公告)日：2016-04-13

申请号：CN201510739697.9

申请日：2015-11-04

Applicant: 上海大学

Inventor： 于瀛洁 ,  宋琨鹏 ,  汪清泉 ,  郭红卫

IPC: G01B11/24

CPC classification number: G01B11/2441

Abstract: 本发明涉及一种球面误差干涉拼接测量装置及其调整方法。装置包括干涉仪、支座、六维调整架、CGH、一维导轨平台、被测件、一维调整机构、二维调整机构、四维调整机构、电控升降台。调整方法用于对上述的球面干涉拼接测量装置进行调整。本装置能够方便、快速、准确调整球面被测件以满足测量要求，有效的解决了被测球面零件在测量中安装和调整困难的问题，实现其全口径检测。

公开(公告)号：CN103994731A

公开(公告)日：2014-08-20

申请号：CN201410223665.9

申请日：2014-05-26

Applicant: 上海大学

Inventor： 于瀛洁 ,  许海峰 ,  彭军政 ,  葛东宝 ,  宋琨鹏

IPC: G01B11/24

Abstract: 本发明涉及一种圆柱度误差干涉测量装置及其调整方法。它包括干涉仪、支座、六维调整架、CGH、一维导轨平台、被测件、四维调整机构、五维调整机构、电控升降台。所述支座上安装干涉仪和一维导轨平台，一维导轨平台上安装六维调整架，将CGH安装在六维调整架上，使干涉仪出射光轴能够通过CGH中心，并且能调整CGH与被测件之间的距离；由所述四维调整机构、五维调整机构和电控升降台组成被测件调节机构，被测件调节机构下端是电控升降台。通过调节四维调整平台使被测件轴心线与五维调整平台上的转动平台的轴心线重合；再调节五维调整平台使转动平台的轴心线与CGH产生的柱面焦线精确重合；通过转动平台并配合升降台，实现柱型被测件的面型的整周检测。