公开(公告)号：CN116760381A

公开(公告)日：2023-09-15

申请号：CN202310648102.3

申请日：2023-06-02

Applicant: 上海大学

Inventor： 王楠 ,  马晨 ,  蒋洁薇 ,  杨丰瑗 ,  陈建霖 ,  汪志远 ,  贺喜

IPC: H03H9/02 ,  H03H9/13

Abstract: 一种射频微机电压电谐振器，包括压电层，固定在所述压电层的上侧的顶部电极，还包括：顶部电极填充层，包裹所述顶部电极；顶部覆盖层，覆盖在所述顶部电极填充层上，用于集中振动机械能，所述顶部覆盖层内部设有沟槽，用于消除杂散模态。本发明能够显著提升器件的品质因数Q，同时也能够消除主谐振附近的杂散模态，使阻抗曲线更平滑。

公开(公告)号：CN118449480A

公开(公告)日：2024-08-06

申请号：CN202410562837.9

申请日：2024-05-08

Applicant: 上海大学

Inventor： 王楠 ,  汪志远 ,  蒋洁薇 ,  马晨 ,  杨丰瑗 ,  马逸明 ,  陈建霖 ,  任青华

IPC: H03H9/02

Abstract: 一种具有布拉格反射层的极化反转型兰姆波谐振器，包括：第一电极、第二电极和衬底，以及位于第一电极和第二电极之间呈交替周期分布的极化方向为正向和极化方向为反向的压电薄膜，以及在第二电极和衬底之间设有布拉格反射器层。本发明利用纵向和剪切体声波所耦合激发的兰姆波，确保声波在谐振器内部来回反射，而不是散射到基底中。同时还能减少结构共振模式引起的内部损耗。这让谐振器品质因数(Q值)有着更好的提升，从而提高了谐振器的整体性能，还较好的保留了其大机电耦合系数与灵活调谐的特性，从而使得谐振器保持较低的能量耗散以及更好的频率选择性。