公开(公告)号：CN119685748A

公开(公告)日：2025-03-25

申请号：CN202510213512.4

申请日：2025-02-26

Applicant: 上海大学

Inventor： 李易璋 ,  张欣怡 ,  陆佳宜 ,  杨泰然 ,  向娟 ,  黄琦 ,  李蝉羽 ,  孙强

IPC: C23C14/04 ,  C23C14/24 ,  C23C14/54

Abstract: 本发明属于材料制备技术领域，具体涉及一种利用旋转掩膜生长高通量薄膜材料的方法。本发明包括以下步骤：在超高真空条件下，将衬底置于掩膜结构中，其中，掩膜结构设置有开口，衬底位于开口的正下方；将掩膜结构置于超高真空蒸镀设备中，采用真空蒸镀法，根据薄膜材料的组分，将对应的组分通过开口对掩膜结构中的衬底依次蒸发沉积，蒸发沉积后对掩膜结构进行旋转，再进行下一次蒸发沉积；其中，下一次蒸发沉积的组分与上一次蒸发沉积的所有组分均部分重叠，直至所有组分蒸发沉积结束，得到薄膜材料。本发明的旋转掩膜法操作简单，通过在一个衬底上沉积多种组分组合的薄膜材料，降低重复人工操纵，提升实验成功率。

公开(公告)号：CN116359550A

公开(公告)日：2023-06-30

申请号：CN202310336066.7

申请日：2023-03-31

Applicant: 上海大学

Inventor： 刘怿泓 ,  乔君毅 ,  王歆朱 ,  张天成 ,  孙强

IPC: G01Q60/14 ,  G01Q30/04

Abstract: 本发明涉及一种扫描隧道显微镜及其人工智能辅助控制方法，所述描隧道显微镜包括样品台、扫描主体装置和减震框架；所述样品台包括从下至上依序设置的第一平台、十字滑台和载物平台；所述扫描主体装置包括从下至上依序设置的第二平台、第三平台和顶部平台，以及扫描头主体和驱动装置，样品台和扫描主体装置整体放置在减震框架上。本发明扫描隧道显微镜具有成本较低、搭建容易、所占空间小的特点，并且其人工智能辅助控制方法，利用人工智能方实现自动化控制，大大降低了设备操作难度，有利于高通量扫描的完成。