薄膜晶体管及其制造方法

    公开(公告)号:CN103165660A

    公开(公告)日:2013-06-19

    申请号:CN201110413462.2

    申请日:2011-12-13

    Applicant: 上海大学

    Abstract: 本发明涉及一种薄膜晶体管及其制造方法,该薄膜晶体管包括依次设置的基板、第一栅极、绝缘层、有源层、源极、漏极以及第二栅极;所述源极与漏极之间具有背道沟区域所述第二栅极形成在所述背道沟区域。本发明在背道沟区域增加一层第二栅极,采用浮栅结构,控制背沟道区域的电荷分布,从而调节器件的阈值电压,减小薄膜晶体管器件的阈值电压,实现低功耗的氧化物薄膜氧化物显示器件,改善器件的稳定性,降低器件的制作成本。

    具有复合空穴注入层的蓝光有机电致发光器件及其制备方法

    公开(公告)号:CN102222773A

    公开(公告)日:2011-10-19

    申请号:CN201110146233.9

    申请日:2011-06-02

    Applicant: 上海大学

    Abstract: 本发明涉及一种具有复合空穴注入层的蓝光有机电致发光器件及其制备方法。本器件依次由ITO玻璃基板(1)、复合空穴注入层(2)、空穴传输层(3)、发光层(4)、电子传输层(5)、复合阴极(6)构成。在本发明中,复合空穴注入层是由两种常用的P型空穴注入材料Ag2O和MoOx构成。这种具有复合空穴注入层的蓝光有机电致发光器件通过提高空穴的注入和迁移,使得器件的功率效率、色纯度和稳定性有了极大地提高。采用这种结构的有机电致发光器件,具有工艺简单,成本低廉,易于产业化等诸多优点,可以在有机电致发光显示中得到广泛的应用。

    应用于氧化物薄膜晶体管阵列湿法刻蚀的阻挡层

    公开(公告)号:CN102214700A

    公开(公告)日:2011-10-12

    申请号:CN201110146553.4

    申请日:2011-06-02

    Applicant: 上海大学

    Abstract: 本发明涉及一种应用于氧化物薄膜晶体管阵列湿法刻蚀的新型阻挡层。本器件依次由基板(1)、栅电极(2)、绝缘层(3)、氧化物有源层(4)、刻蚀阻挡层(5)、源漏电极(6)层叠构。各结构层采用真空蒸发方法、磁控溅射方法和旋涂方法制备。本发明中,刻蚀阻挡层由苯酚-甲醛聚合物构成。采用该中刻蚀阻挡层,在氧化物薄膜晶体管阵列制备过程中,较好地保护了氧化物有源层,并使制备工艺大为简化,适用于大面积制备。

    具有缓冲层的顶栅结构氧化物薄膜晶体管

    公开(公告)号:CN102201451A

    公开(公告)日:2011-09-28

    申请号:CN201110146477.7

    申请日:2011-06-02

    Applicant: 上海大学

    Abstract: 本发明涉及一种具有缓冲层的氧化物薄膜晶体管器件及其制作方法。本器件依次由基板(1)、源极(2)、漏极(3)、氧化物有源层(4)、缓冲层(5)、绝缘层(6)、栅极(7)层叠构成顶栅结构。各结构层采用真空蒸发方法和溅射方法制备。本发明结构中,缓冲层是由一氧化硅SiO构成。采用这种新型的具有缓冲层顶栅结构的氧化物TFT,可实现增较好的输出特性曲线,使其在采用氧化物薄膜晶体管的AMOLED显示电路中实现应用价值成为可能,工艺大为简化,性能更加优良。

    具有色度调节层的蓝光有机电致发光器件及其制备方法

    公开(公告)号:CN102222777A

    公开(公告)日:2011-10-19

    申请号:CN201110146271.4

    申请日:2011-06-02

    Applicant: 上海大学

    Abstract: 本发明涉及一种具有色度调节层的蓝光有机电致发光器件及其制备方法。本器件依次由ITO玻璃基板(1)、空穴注入层(2)、空穴传输层(3)、色度调节层(4)、发光层(5)、电子传输层(6)、复合阴极(7)构成。各结构层均采用真空蒸发方法制备。在本发明中,发光层为[TBADN:DSA-Ph],在发光层和空穴传输层之间,插入一层超薄的色度调节层[DPVBi:BCzVB]。前者可产生高发光效率的天蓝光、后者可产生高色纯度的深蓝光,利用二者产生的色光合成蓝光。采用这种结构,可以有效地提高器件的色纯度,获得高效率、色彩饱和的蓝光有机电致发光器件。本发明具有工艺简单,成本低廉,易于产业化等诸多优点,可以在有机电致发光显示中得到广泛的应用。

    具有复合空穴传输层的有机电致发光器件及其制造方法

    公开(公告)号:CN102088062A

    公开(公告)日:2011-06-08

    申请号:CN201010597815.4

    申请日:2010-12-21

    Applicant: 上海大学

    Abstract: 本发明涉及一种具有复合空穴传输层的有机电致发光器件及其制备方法。本发光器件依次由ITO玻璃基板、ITO修饰层、空穴传输层、发光层、电子传输层、复合阴极构成。各结构层均采用真空蒸发方法制备,其中复合空穴传输层是采用双源共蒸的方法制备。本发明结构中,空穴传输层是有两种不同空穴迁移率的材料NPB和m-MTDATA构成。这种具有复合空穴传输层的有机电致发光器件是通过调节空穴传输层中两种材料的掺杂比来调节其空穴迁移率,使得有机电致发光器件中载流子平衡,这样极大的提高了器件的发光效率,并且能够有效的抑制器件在较高驱动电流下载流子的电流淬灭效应。采用这种结构的有机电致发光器件,可以广泛应用到有机电致发光显示器件上。

    基于氧化物薄膜晶体管阵列制备的复合叠层电极

    公开(公告)号:CN102208453A

    公开(公告)日:2011-10-05

    申请号:CN201110146555.3

    申请日:2011-06-02

    Applicant: 上海大学

    Abstract: 本发明涉及一种基于氧化物薄膜晶体管阵列制备的复合叠层电极。本器件依次由源漏电极(1)、氧化物有源层(2)、绝缘层(3)、栅电极(4、5),基板(6)构成。各结构层采用真空蒸发方法和磁控溅射方法制备。本发明氧化物薄膜晶体管结构中,铝/镍(Al/Ni)金属电极为复合叠层电极。采用这种基于氧化物薄膜晶体管阵列制备的复合叠层电极,可实现制备工艺过程中,消除各种化学试剂对电极的影响,使氧化物薄膜晶体管能在阵列制备过程中不受伤害且制备好的阵列在器件性能上不受影响,使得其在电路中实现应用价值成为可能。

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