公开(公告)号：CN104993010A

公开(公告)日：2015-10-21

申请号：CN201510189550.7

申请日：2015-04-21

Applicant: 上海大学

Inventor： 金晶 ,  惠朝先 ,  戴文韫 ,  刘灿 ,  吕康 ,  李嘉诚 ,  史伟民

IPC: H01L31/18 ,  H01L31/0224

CPC classification number: Y02P70/521

Abstract: 本发明公开了一种AZO/Ag/AZO薄膜太阳能电池前电极的制备方法，利用物理溅射制备AZO层，利用化学实验的方法制备银纳米颗粒等离子体，并通过控制实验条件来形成不同大小、尺寸、形状的纳米颗粒、纳米线等。本发明综合了物理磁控溅射和液相化学还原方法，分别获得了三层膜中的AZO层和Ag纳米颗粒层，利用此方法获得的薄膜太阳电池前电极，在银纳米颗粒等离子体共振吸收方面的应用上将会有较大的发展空间。在化学还原法中利用还原性的有机化学溶剂，可以很好的实现银离子的分离与还原，然后通过不同的还原剂浓度、反应温度、生长周期等可以实现纳米颗粒、纳米线的制备。