一种集成式温度和压力双模传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN119509725A

    公开(公告)日:2025-02-25

    申请号:CN202411642760.2

    申请日:2024-11-18

    Abstract: 本发明提供一种集成式温度和压力双模传感器及其制备方法,集成式温度和压力双模传感器包括压电芯片、NTC芯片和柔性封装结构;柔性封装结构包括分离的第一封装层和第二封装层,第一封装层和第二封装层分别从压电芯片及NTC芯片的两侧将二者包夹其中,使第一封装层的第一封装电极层分别与压电芯片的一个电极层及NTC芯片的一个电极层电连接形成公共连接点;第二封装层的第二封装电极层包括相互电气隔离的k根电极,k=压电芯片的数量+NTC芯片的数量,k根电极分别与压电芯片的另一个电极层及NTC芯片的另一个电极层电连接。本发明通过柔性封装结构将压电芯片和NTC芯片集成为一体,可以同时监测温度和压力,且有厚度小和柔性好的优点,应用范围大大拓展。

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