公开(公告)号：CN106086789B

公开(公告)日：2019-03-22

申请号：CN201610510378.5

申请日：2016-06-30

Applicant: 上海交通大学 ,  上海卫星装备研究所

Inventor： 张亚非 ,  刘刚 ,  王惠芬 ,  马德福 ,  苏言杰

IPC: C23C14/08 ,  C23C14/35 ,  C23C14/02 ,  H01B1/08

Abstract: 本发明提供了一种通过磁控溅射在聚酯表面沉积透明导电薄膜的界面层方法，包括如下步骤：步骤S1：采用磁控溅射机中的反溅射对聚酯基底进行等离子体表面处理，产生大量悬挂键，同时增加表面粗糙度；步骤S2：在等离子体处理后的聚酯基底表面上生长一层B2O3纳米修饰层；步骤S3：在B2O3纳米修饰层上再生长透明导电薄膜层。本发明通过磁控溅射法在聚酯表面沉积透明导电薄膜的界面层技术，显著地提高了透明导电薄膜与聚酯基底之间的附着力，同时，在一定程度上提升了透明导电薄膜的光学透过率和导电性能。

公开(公告)号：CN111175349A

公开(公告)日：2020-05-19

申请号：CN202010005390.7

申请日：2020-01-03

Applicant: 上海交通大学

Inventor： 苏言杰 ,  马德福 ,  尹欢 ,  霍婷婷

IPC: G01N27/00 ,  B82Y15/00 ,  B82Y40/00 ,  B82Y30/00

Abstract: 本发明涉及一种可控构筑高性能气敏/湿敏传感器的方法，该方法为：以磁性亚微米材料为支撑体，将功能化的敏感纳米材料包覆在所述磁性亚微米材料的表面，之后分散于溶剂中制得敏感纳米材料溶液。构筑气敏或湿敏传感器过程中，利用磁场操控所述敏感材料在插指电极之间定向排列，待溶剂蒸发后，得到气敏或湿敏传感器。本发明利用气敏/湿敏材料与磁性支撑材料的有效组合，并在磁场操控下，使气敏/湿敏纳米材料可控地排布在插指电极间形成导电通道，显著提高了气敏/湿敏器件响应灵敏度，而且均匀排布的多导电通道可实现同批次器件性能均一的效果，本发明方法可作为提升气体/湿度传感器性能的一种通用策略。

公开(公告)号：CN106086789A

公开(公告)日：2016-11-09

申请号：CN201610510378.5

申请日：2016-06-30

Applicant: 上海交通大学 ,  上海卫星装备研究所

Inventor： 张亚非 ,  刘刚 ,  王惠芬 ,  马德福 ,  苏言杰

IPC: C23C14/08 ,  C23C14/35 ,  C23C14/02 ,  H01B1/08

CPC classification number: C23C14/086 ,  C23C14/0036 ,  C23C14/021 ,  C23C14/022 ,  C23C14/024 ,  C23C14/08 ,  C23C14/35 ,  H01B1/08

Abstract: 本发明提供了一种通过磁控溅射在聚酯表面沉积透明导电薄膜的界面层方法，包括如下步骤：步骤S1：采用磁控溅射机中的反溅射对聚酯基底进行等离子体表面处理，产生大量悬挂键，同时增加表面粗糙度；步骤S2：在等离子体处理后的聚酯基底表面上生长一层B2O3纳米修饰层；步骤S3：在B2O3纳米修饰层上再生长透明导电薄膜层。本发明通过磁控溅射法在聚酯表面沉积透明导电薄膜的界面层技术，显著地提高了透明导电薄膜与聚酯基底之间的附着力，同时，在一定程度上提升了透明导电薄膜的光学透过率和导电性能。