-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114112405A
公开(公告)日：2022-03-01
申请号：CN202111391593.5
申请日：2021-11-23
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明提供一种用于航空发动机的多模态力学传感器及制备方法，所述传感器包括至少一个正向压力测量单元和至少一个剪切力测量单元，二者的数量相同；所述传感器具有柔性安装面；所述传感器从下至上依次包括下电极层、第一键合层、压电层、第二键合层和上电极层；所述下电极层同时作为所述柔性安装面，所述第一键合层用于将所述压电层的底部键合在所述下电极层上，所述第二键合层用于将所述压电层的顶部键合在所述上电极层上，所述压电层用作压力敏感元件，所述上电极层用于输出至少一个正向压力信号和至少一个剪切力信号。本发明集正向压力和剪切力测量为一体，可有效提高发动机的实时监测效果。
-
公开(公告)号：CN118102846A
公开(公告)日：2024-05-28
申请号：CN202410072336.2
申请日：2024-01-18
Applicant: 上海交通大学
IPC: H10N30/073 , H10N30/088 , H10N30/00 , H10N30/30 , H10N30/853
Abstract: 本发明提供一种图案化压电陶瓷薄膜的制备与转印方法，包括：提供基底和压电陶瓷片，将压电陶瓷片置于基底表面，将压电陶瓷片和基底键合在一起；将压电陶瓷片减薄，形成压电陶瓷薄膜；切割压电陶瓷薄膜，形成具有几何图案的压电陶瓷薄膜；去除键合所用的临时键合胶，使压电陶瓷薄膜与基底分离，得到图案化压电陶瓷薄膜；将图案化压电陶瓷薄膜粘附在转移材料的表面；提供柔性基底，通过丝网印刷方式在柔性基底上涂布导电浆料；将图案化压电陶瓷薄膜压印到导电浆料表面，与柔性基底粘结，剥离转移材料；加热图案化压电陶瓷薄膜与柔性基底，直至导电浆料完全固化。本发明实现了压电陶瓷薄膜的图案化制备与可靠转印。
-
公开(公告)号：CN114112405B
公开(公告)日：2023-06-20
申请号：CN202111391593.5
申请日：2021-11-23
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明提供一种用于航空发动机的多模态力学传感器及制备方法，所述传感器包括至少一个正向压力测量单元和至少一个剪切力测量单元，二者的数量相同；所述传感器具有柔性安装面；所述传感器从下至上依次包括下电极层、第一键合层、压电层、第二键合层和上电极层；所述下电极层同时作为所述柔性安装面，所述第一键合层用于将所述压电层的底部键合在所述下电极层上，所述第二键合层用于将所述压电层的顶部键合在所述上电极层上，所述压电层用作压力敏感元件，所述上电极层用于输出至少一个正向压力信号和至少一个剪切力信号。本发明集正向压力和剪切力测量为一体，可有效提高发动机的实时监测效果。
-
公开(公告)号：CN113267289B
公开(公告)日：2022-08-16
申请号：CN202110408510.2
申请日：2021-04-16
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明提供一种面向航空发动机的阵列式柔性压电传感器及其制备方法，包括：设置于衬底上的聚合物绝缘层，用于隔离衬底和上电极层；设置于衬底上的压电敏感层，压电敏感层包括呈阵列式排布的若干压电敏感单元，若干压电敏感单元相互分离，用于采集叶尖间隙高频气体脉冲压力信号，并将采集的信号的变化转换为电压或电荷的变化；设置于聚合物绝缘层上的上电极层，且上电极层的电极点的下表面分别与压电敏感单元的上表面相贴；上电极层用于与外部电荷放大电路或测试电路导通，以实时监测传感器的电压或电荷变化；设置于上电极层上方用于密封和保护器件的封装层。本发明结构设计及加工工艺简单，具有超薄的器件厚度、宽频响应、高灵敏度以及高分辨率。
-
公开(公告)号：CN113267289A
公开(公告)日：2021-08-17
申请号：CN202110408510.2
申请日：2021-04-16
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明提供一种面向航空发动机的阵列式柔性压电传感器及其制备方法，包括：设置于衬底上的聚合物绝缘层，用于隔离衬底和上电极层；设置于衬底上的压电敏感层，压电敏感层包括呈阵列式排布的若干压电敏感单元，若干压电敏感单元相互分离，用于采集叶尖间隙高频气体脉冲压力信号，并将采集的信号的变化转换为电压或电荷的变化；设置于聚合物绝缘层上的上电极层，且上电极层的电极点的下表面分别与压电敏感单元的上表面相贴；上电极层用于与外部电荷放大电路或测试电路导通，以实时监测传感器的电压或电荷变化；设置于上电极层上方用于密封和保护器件的封装层。本发明结构设计及加工工艺简单，具有超薄的器件厚度、宽频响应、高灵敏度以及高分辨率。
-
-
-
-
Search Results
5
records
(took 0.018 seconds)
