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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108088610A
公开(公告)日：2018-05-29
申请号：CN201711121529.9
申请日：2017-11-14
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明提供一种复合保护层的高温薄膜应变计及其制备方法，所述应变计包括：高温合金构件基底、合金过渡层、氧化铝绝缘层、氧化铝保护层、铝中间层、PdCr应变层和Pt电极。所述应变计以高温合金构件为基底，在基底上先磁控溅射过渡层合金并高温氧化生成薄层氧化铝薄膜，再双离子束溅射沉积氧化铝绝缘薄膜，在绝缘薄膜上射频磁控溅射PdCr应变层，离子束溅射Al中间层和Al2O3保护层。本发明适用于构件在高温工作过程中应变的实时测量；采用通用MEMS图形化工艺，溅射PdCr做应变层，离子束溅射制备Al和Al2O3经过热处理得到复合保护层，来防止PdCr薄膜的氧化，提高了应变计的抗氧化能力和稳定性。
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公开(公告)号：CN109798995A
公开(公告)日：2019-05-24
申请号：CN201910043944.X
申请日：2019-01-17
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01K7/02
Abstract: 本发明提出一种柔性高灵敏度薄膜热电堆型热流传感器及制备方法，包括：柔性基底、热电堆薄膜、热阻层，柔性基底的上方设置多对热电偶，多对热电偶首尾搭接形成热电堆薄膜，热电偶的两个电极连接处以及相邻热电偶的连接处为热电堆结点，热电堆薄膜上方设置热阻层，热电阻层覆盖于部分热电堆结点的上方，使热电堆薄膜上形成间隔分布的冷结点和热结点，其中，冷结点为被热阻层覆盖的热电堆结点，热结点为未被热阻层覆盖的热电堆结点；当外部环境在传感器上施加垂直方向热流时，冷结点和热结点形成温度差，通过热电堆输出相应电势，从而实现对热流密度的瞬态测量。本发明能实现对热流密度的瞬态测量，具有灵敏度高，结构简单，制备成本低的特点。
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公开(公告)号：CN106959169B
公开(公告)日：2019-05-17
申请号：CN201710254835.3
申请日：2017-04-18
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明提供一种新型多功能传感器芯片及其制备方法，包括硅基衬底，以及设于硅基衬底上的氧化硅绝缘层、温度传感器、C4D电导率传感器、BST薄膜保护层，其中：氧化硅绝缘层覆盖在硅基衬底上方，C4D电导率传感器的四个敏感电极被氧化硅绝缘层包围，温度传感器置于氧化硅绝缘层上方，BST薄膜保护层覆盖在温度传感器、C4D电导率传感器上表面并露出引线电极；当所述芯片置于被测溶液中时，由C4D测量原理，C4D电导率传感器输出被测溶液的阻抗图，将其与标准的阻抗谱比对后即得到相应电导率值；同时，温度传感器输出相应温度。本发明同时实现温度与电导率测量，具有结构简单、体积小、成本低、耐腐蚀、响应速度快、测量范围大、测量精度高的特点。
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公开(公告)号：CN108088610B
公开(公告)日：2019-09-27
申请号：CN201711121529.9
申请日：2017-11-14
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明提供一种复合保护层的高温薄膜应变计及其制备方法，所述应变计包括：高温合金构件基底、合金过渡层、氧化铝绝缘层、氧化铝保护层、铝中间层、PdCr应变层和Pt电极。所述应变计以高温合金构件为基底，在基底上先磁控溅射过渡层合金并高温氧化生成薄层氧化铝薄膜，再双离子束溅射沉积氧化铝绝缘薄膜，在绝缘薄膜上射频磁控溅射PdCr应变层，离子束溅射Al中间层和Al2O3保护层。本发明适用于构件在高温工作过程中应变的实时测量；采用通用MEMS图形化工艺，溅射PdCr做应变层，离子束溅射制备Al和Al2O3经过热处理得到复合保护层，来防止PdCr薄膜的氧化，提高了应变计的抗氧化能力和稳定性。
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公开(公告)号：CN106959169A
公开(公告)日：2017-07-18
申请号：CN201710254835.3
申请日：2017-04-18
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明提供一种新型多功能传感器芯片及其制备方法，包括硅基衬底，以及设于硅基衬底上的氧化硅绝缘层、温度传感器、C4D电导率传感器、BST薄膜保护层，其中：氧化硅绝缘层覆盖在硅基衬底上方，C4D电导率传感器的四个敏感电极被氧化硅绝缘层包围，温度传感器置于氧化硅绝缘层上方，BST薄膜保护层覆盖在温度传感器、C4D电导率传感器上表面并露出引线电极；当所述芯片置于被测溶液中时，由C4D测量原理，C4D电导率传感器输出被测溶液的阻抗图，将其与标准的阻抗谱比对后即得到相应电导率值；同时，温度传感器输出相应温度。本发明同时实现温度与电导率测量，具有结构简单、体积小、成本低、耐腐蚀、响应速度快、测量范围大、测量精度高的特点。
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