微结构的制造方法及其制造系统

    公开(公告)号:CN100333992C

    公开(公告)日:2007-08-29

    申请号:CN200510052804.7

    申请日:2005-02-28

    CPC classification number: B81C3/008

    Abstract: 公开了一种具有高形状精度的微结构的制造方法及其制造系统。在具有预定定位精度和大行程的粗动工作台(51)上,设置有具有小行程和高于粗动工作台(51)定位精度的微动工作台(52)。首先,移动粗动工作台(51)至要求的位置。利用设置在激光长度测量机(64)上的镜子(55)和微动工作台(52),高精度地测量在微动工作台(52)上的薄膜元件(25)的当前位置。激光长度测量机(64)的测量值反馈到工作台控制装置(61)。通过误差校正单元(64)计算当前位置和目标位置之间的误差。因此,产生误差校正值。并且利用误差校正值移动微动工作台(52)到目标位置。从而校正粗动工作台(51)的误差。

    微结构的制造方法及其制造系统

    公开(公告)号:CN1680187A

    公开(公告)日:2005-10-12

    申请号:CN200510052804.7

    申请日:2005-02-28

    CPC classification number: B81C3/008

    Abstract: 公开了一种具有高形状精度的微结构的制造方法及其制造系统。在具有预定定位精度和大行程的粗动工作台(51)上,设置有具有小行程和高于粗动工作台(51)定位精度的微动工作台(52)。首先,移动粗动工作台(51)至要求的位置。利用设置在激光长度测量机(64)上的镜子(55)和微动工作台(52),高精度地测量在微动工作台(52)上的薄膜元件(25)的当前位置。激光长度测量机(64)的测量值反馈到工作台控制装置(61)。通过误差校正单元(64)计算当前位置和目标位置之间的误差。因此,产生误差校正值。并且利用误差校正值移动微动工作台(52)到目标位置。从而校正粗动工作台(51)的误差。

    旋转电机机械、发电机及风力发电设备

    公开(公告)号:CN111594386A

    公开(公告)日:2020-08-28

    申请号:CN201911155737.X

    申请日:2019-11-22

    Abstract: 本发明提供旋转电机机械、发电机及风力发电设备,在抑制装置的大型化的同时实现使电力或转矩的产生容量增加和装置的耐久性提高同时成立。旋转电机机械具备:电枢单元,包括形成为环状且能够绕轴线旋转的转子及配置于所述转子的径向外侧的定子;输入输出轴,一端与外部设备连结,并且在形成于所述转子的中央部的中央空间内沿着所述转子的轴向延伸;以及联轴器装置,在所述轴向上设置于比位于所述外部设备附近的所述转子的端部靠所述输入输出轴的另一端侧的位置,将所述输入输出轴与所述转子以能够传递转矩的方式连结。

    电解加工工具、电解加工系统以及穿孔构件的制造方法

    公开(公告)号:CN104755215A

    公开(公告)日:2015-07-01

    申请号:CN201380056451.0

    申请日:2013-12-04

    CPC classification number: B23H3/04 B23H7/265 B23H7/30 B23H9/10 B23H9/14 B23H9/16

    Abstract: 本发明为了提供一种可以轻易形成所希望形状之弯孔以及直线孔的电解加工工具、电解加工系统以及穿孔构件的制造方法,电解加工工具(3)具备工具主体(10),该工具主体(10)由沿着轴线(O)延伸而形成筒状的具有可挠性的导电性材料所形成,在内侧朝向前端(10a)一侧形成流通电解液(W)的流道(FC)的电极(11);包裹在电极(11)外周面上,且使电极(11)的前端面露出的绝缘层(12);将流道(FC)区划为包含轴线(O)的第一流道(FC1)、以及位于该第一流道(FC1)外周侧的第二流道(FC2)的流道区划部(17),工具主体(10)的周向位置的一部分上形成有流体导出部(15),所述流体导出部(15)将流通第二流道的电解液(W)朝工具主体(10)的径向外侧导出。

    冲击波供给装置
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN113531569A

    公开(公告)日:2021-10-22

    申请号:CN202110333352.9

    申请日:2021-03-29

    Abstract: 提供一种能向大型的装置或设备供给冲击波的冲击波供给装置。一种冲击波供给装置具备:冲击波生成部,该冲击波生成部生成冲击波;冲击波射出部,该冲击波射出部射出冲击波;弯曲自如的导管,该导管设于从冲击波生成部起至冲击波射出部为止的冲击波的流路的一部分;外壳管,该外壳管设于导管的径向外侧且沿导管的轴向设有多个;以及连结部,该连结部将邻接的外壳管连结为彼此可绕铅直轴转动。

    加工位置校正装置以及电解加工装置

    公开(公告)号:CN110238471B

    公开(公告)日:2021-06-15

    申请号:CN201811579213.9

    申请日:2018-12-21

    Abstract: 本发明提供一种应用到电解加工装置的加工位置校正装置以及电解加工装置,该电解加工装置中,电极棒(2)沿轴线(C)延伸且使该电极棒(2)绕轴线(C)旋转,同时使电解液从电极棒(2)的前端部流出,从而在电极棒(2)的前端部的范围对被加工件进行电解加工,该加工位置校正装置具备检测设置在电极棒(2)的特征点的旋转位置的位置检测部(13A)。由此,能够减少从加工初期开始的相位偏差量,能够降低加工路径整体中的加工误差。

    水流发电装置
    10.
    发明授权

    公开(公告)号:CN110234867B

    公开(公告)日:2021-02-09

    申请号:CN201880008618.9

    申请日:2018-01-26

    Abstract: 本发明涉及一种水流发电装置(201),其具备:叶片(223),其利用水流动力而旋转;转子(旋转部)(202),其与叶片(223)连结,并与叶片(223)一体地旋转;发电机(发电单元)(206),其与转子(202)连结,利用转子(202)的旋转力进行发电;机舱(207),其覆盖发电机(206),形成配置有发电机(206)的内部空间(V)与配置有叶片(223)的水中的边界,以使内部空间(V)成为气体气氛;以及轴承单元(204),其将转子(202)支承于机舱(207)。轴承单元(204)具有:推力轴承(241),其设置于内部空间(V),从轴向对转子(202)进行支承;以及轴颈轴承(242),其设置于机舱(207)与叶片(223)之间,从径向对转子(202)进行支承。

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