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发明公开
电子器件检查装置审中-实审

公开(公告)号：CN115552259A

公开(公告)日：2022-12-30

申请号：CN202080100563.1

申请日：2020-05-13

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 糸濑和也 , 深尾哲宏 , 小柳元良 , 见上洋平 , 武田匡史 , 山内康宽

IPC: G01R31/28 , G01R1/06 , G01R1/073

Abstract: 本申请的电子器件检查装置(10)具备：检查台(3)，对配置于半导体装置(90)的电极进行定位并保持；触头(2)，由形状记忆合金形成为长条薄板状，基部(2b)固定于检查台(3)，可变部(2a)在第一温度下呈漩涡形状且在第二温度下展开漩涡；以及测定部(61)，通过经由触头(2)向电极通电，来测定半导体装置(90)，构成为可变部(2a)的漩涡的轴与定位后的电极的电极面平行，在第二温度下，在可变部(2a)与定位后的电极之间形成沿着长度方向的接触区域(Rc)。

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