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公开(公告)号：CN1299465A
公开(公告)日：2001-06-13
申请号：CN98814134.5
申请日：1998-08-10
Applicant: 三菱电机株式会社
CPC classification number: G01R31/309 , G01N21/88 , G01N21/8901 , G01N21/956
Abstract: 一种印刷电路基板的检查装置,设有转动轴互相垂直的2个检流镜及扫描透镜作为扫描装置,能将激光振荡器输出激光的照射位置定位在互相垂直的X轴方向及Y轴方向指令的任意坐标位置处,用检测器检测激光照射印刷电路基板所产生的光,依据检测器的输出信号判断各坐标位置检查结果是否良好。
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公开(公告)号：CN1112866A
公开(公告)日：1995-12-06
申请号：CN95100012.8
申请日：1995-02-24
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: B23K26/00
CPC classification number: B23K26/38 , B23K26/0626 , B23K26/08 , B23K26/082 , B23K26/1435 , B23K26/1476
Abstract: 一种激光切割方法，当切割条件变化时可以有效地消除切割缺陷。当激光束沿路径到达第一切割条件改变为第二切割条件的位置时，停止激光束对工件的照射。然后，激光束沿该路径从上述位置后退一个预定的距离。经一段延迟时间后，激光束再次沿该预定路径移动，在第二切割条件下切割工件。后退距离根据工件的厚度而定。而且，当激光束停止照射时，可以在切割路径的邻近将辅助气体喷射在工件上。
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公开(公告)号：CN100595627C
公开(公告)日：2010-03-24
申请号：CN200710096579.6
申请日：2007-04-16
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 本发明的课题是提供一种具有多个驱动元件的可变形镜，自由度高，但是，结构复杂。其特征在于，可变形镜包括：在一侧具有反射面(1A)的反射镜(1)，在两个部位处固定到反射镜(1)的背面上的第一轴构件(4)，具有固定到反射镜(1)的背面(1B)上的两个腿(5B)、跨越前述第一轴构件(4)的第二轴构件(5)，使该第二轴构件(5)与前述第一轴构件(4)之间的距离变化的距离变更机构(2)，连接固定第一轴构件(4)的部位的线段与连接固定第二轴构件(5)的前述腿(5B)的部位的线段相互交叉。
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公开(公告)号：CN101290394A
公开(公告)日：2008-10-22
申请号：CN200710096579.6
申请日：2007-04-16
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 本发明的课题是提供一种具有多个驱动元件的可变形镜，自由度高，但是，结构复杂。其特征在于，可变形镜包括：在一侧具有反射面(1A)的反射镜(1)，在两个部位处固定到反射镜(1)的背面上的第一轴构件(4)，具有固定到反射镜(1)的背面(1B)上的两个腿(5B)、跨越前述第一轴构件(4)的第二轴构件(5)，使该第二轴构件(5)与前述第一轴构件(4)之间的距离变化的距离变更机构(2)，连接固定第一轴构件(4)的部位的线段与连接固定第二轴构件(5)的前述腿(5B)的部位的线段相互交叉。
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公开(公告)号：CN1309527C
公开(公告)日：2007-04-11
申请号：CN03801854.3
申请日：2003-03-17
Applicant: 三菱电机株式会社
CPC classification number: B23K26/06 , B23K26/382 , B23K26/389 , B23K26/40 , B23K2101/35 , B23K2101/42 , B23K2103/12 , B23K2103/172 , B23K2103/42 , B23K2103/50 , H05K3/0032 , H05K3/0035 , H05K3/0055
Abstract: 本发明涉及激光加工方法，该方法是对印刷配线基板的绝缘层照射激光束，加工盲孔、凹槽或贯通孔的印刷配线基板的激光加工方法，其包括如下工序：第1工序，以规定的能量密度加工所述绝缘层；第2工序，对经第1工序加工的加工部位周围，以能量密度小于所述第1工序中的能量密度的激光进行照射以固化所述绝缘层；和第3工序，清除残存的污渍。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101274394A
公开(公告)日：2008-10-01
申请号：CN200810087655.1
申请日：2008-03-25
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: B23K26/06 , B23K26/067 , B23K26/38
Abstract: 本发明提供一种不使装置大型化，能够得到正圆度高的加工孔的激光加工装置。本发明中，在使从激光振荡器振荡的加工用激光偏转的主偏转电流镜上形成具有圆偏光镜的特性的涂层。主偏转电流镜将被分光的两个加工用激光照射到加工工件上。涂层例如是由ZnS和ThF4构成的感应体多层膜或者是由Ge和ZnS构成的感应体多层膜构成。
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公开(公告)号：CN1159129C
公开(公告)日：2004-07-28
申请号：CN01802636.2
申请日：2001-07-27
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: B23K26/067 , B23K26/073
CPC classification number: B23K26/0608 , B23K26/0643 , B23K26/0648 , B23K26/067 , B23K26/08 , B23K26/082 , B23K26/382 , B23K2103/50
Abstract: 本发明的激光加工装置具有产生激光的激光振荡器(3)、主偏转检流计反射镜(7)、Fθ透镜(10)、设在激光振荡器(3)与主偏转检流计反射镜(7)之间的光路中的副偏转装置(6)。另外，具有分光激光的装置(19、28)，在被分光的激光光路(18b、26b、27b)上插入上述副偏转装置(6)，同时使被分光的两激光(18a、18b、26a、26b、27a、27b)从同一主偏转检流计反射镜(7)入射到Fθ透镜(10)，将主偏转检流计反射镜(7)和Fθ透镜(10)和被加工物(9)的光路系统中的数值孔径构成为0.08以上。
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公开(公告)号：CN1129788C
公开(公告)日：2003-12-03
申请号：CN98814134.5
申请日：1998-08-10
Applicant: 三菱电机株式会社
CPC classification number: G01R31/309 , G01N21/88 , G01N21/8901 , G01N21/956
Abstract: 一种印刷电路基板的检查装置，设有转动轴互相垂直的2个检流镜及扫描透镜作为扫描装置，能将激光振荡器输出激光的照射位置定位在互相垂直的X轴方向及Y轴方向指令的任意座标位置处，用检测器检测激光照射印刷电路基板所产生的光，依据检测器的输出信号判断各座标位置检查结果是否良好。
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公开(公告)号：CN1098022C
公开(公告)日：2003-01-01
申请号：CN96111476.2
申请日：1996-08-07
Applicant: 三菱电机株式会社
CPC classification number: H05K3/0032 , H05K2203/0554 , H05K2203/081
Abstract: 本发明揭示电路底板激光加工方法和装置。该方法将激光束以约10微秒-20微秒的照射时间，约20焦耳/厘米2以上的能量密度，对电流底板的被加工部进行脉冲照射，在该电路板上完成开通孔和盲辅助孔之类的钻削、槽缝加工和外形切割。可解决含玻璃纤维布电路底板激光加工中出现玻璃纤维布伸出、加工孔粗糙和因加热时间长而孔壁有碳化层等问题。
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公开(公告)号：CN1142743A
公开(公告)日：1997-02-12
申请号：CN96111476.2
申请日：1996-08-07
Applicant: 三菱电机株式会社
CPC classification number: H05K3/0032 , H05K2203/0554 , H05K2203/081
Abstract: 本发明揭示电路底板激光加工方法和装置。该方法将激光束以约10微秒—20微秒的照射时间，约20焦耳/厘米2以上的能量密度，对电流底板的被加工部进行脉冲照射，在该电路板上完成开通孔和盲辅助孔之类的钻削、槽缝加工和外形切割。可解决含玻璃纤维布电路底板激光加工中出现玻璃纤维布伸出、加工孔粗糙和因加热时间长而孔壁有碳化层等问题。
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