公开(公告)号：CN103459138A

公开(公告)日：2013-12-18

申请号：CN201280016733.3

申请日：2012-03-29

Applicant: 三菱树脂株式会社

Inventor： 木村繁人 ,  蜂须贺亨 ,  山内康嗣 ,  吉田重信

IPC: B32B9/00 ,  C23C14/56

CPC classification number: B65D65/42 ,  B05D1/00 ,  C23C14/022 ,  C23C14/10 ,  C23C14/562 ,  C23C14/584 ,  Y10T428/265

Abstract: 本发明提供一种阻隔性蒸镀膜，其具有均匀的膜质，且具有膜密度致密且初期的阻隔性高的蒸镀层。所述阻隔性蒸镀膜的特征在于，在基体材料的至少一面具有至少一层下述的蒸镀层(a)。蒸镀层(a)：是由金属氧化物构成的厚度10～500nm的蒸镀层，利用X射线光电子能谱(ESCA)沿深度方向分析该蒸镀层时，氧(O)和金属的元素比[氧(O)/金属]的平均值为1.20以上且1.90以下，且[氧(O)/金属]的最大值和最小值之差为0.35以下。

公开(公告)号：CN103459138B

公开(公告)日：2016-08-17

申请号：CN201280016733.3

申请日：2012-03-29

Applicant: 三菱树脂株式会社

Inventor： 木村繁人 ,  蜂须贺亨 ,  山内康嗣 ,  吉田重信

IPC: B32B9/00 ,  C23C14/56

CPC classification number: B65D65/42 ,  B05D1/00 ,  C23C14/022 ,  C23C14/10 ,  C23C14/562 ,  C23C14/584 ,  Y10T428/265

Abstract: 本发明提供一种阻隔性蒸镀膜，其具有均匀的膜质，且具有膜密度致密且初期的阻隔性高的蒸镀层。所述阻隔性蒸镀膜的特征在于，在基体材料的至少一面具有至少一层下述的蒸镀层(a)。蒸镀层(a)：是由金属氧化物构成的厚度10～500nm的蒸镀层，利用X射线光电子能谱(ESCA)沿深度方向分析该蒸镀层时，氧(O)和金属的元素比[氧(O)/金属]的平均值为1.20以上且1.90以下，且[氧(O)/金属]的最大值和最小值之差为0.35以下。

公开(公告)号：CN103189202A

公开(公告)日：2013-07-03

申请号：CN201180052469.4

申请日：2011-11-02

Applicant: 三菱树脂株式会社

Inventor： 山内康嗣 ,  吉田重信 ,  蜂须贺亨 ,  木村繁人

IPC: B32B9/00 ,  C23C14/06 ,  C23C16/30

CPC classification number: H05K5/0213 ,  C23C14/10 ,  C23C16/30 ,  Y10T428/24975

Abstract: 本发明提供生产性良好、透明性高、显示高阻气性、且构成层间具有优异的密合强度、不发生卷曲的阻气叠层膜、以及该膜的制造方法。本发明的阻气性叠层膜在基体材料膜的至少一面上依次具有通过真空蒸镀法形成的无机薄膜层、通过化学蒸镀法形成的无机薄膜层及通过真空蒸镀法形成的无机薄膜层，并且，上述通过真空蒸镀法形成的无机薄膜层的膜厚为0.1nm以上且500nm以下，上述通过化学蒸镀法形成的无机薄膜层的碳含量为0.5at.%以上且小于20at.%、且其膜厚小于20nm。