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公开(公告)号：CN1267358C
公开(公告)日：2006-08-02
申请号：CN02147951.8
申请日：2002-10-31
Applicant: 三洋电机株式会社
Abstract: 一种被除去物的除去方法，在以往的CMP等机械加工所产生的排水，由于在CMP研磨膏中包含砂粒的微小颗粒形成为胶体溶液，而没有有效的过滤方法。本发明除去物的除去方法是利用由第1过滤器1表面吸引所形成的凝胶膜构成的第2过滤器2过滤含有胶体溶液微小颗粒的排水。此时吸引压力极微弱，即延迟第2过滤器2堵塞又维持过滤能力。另外第2过滤器2表面所吸附的凝胶利用停止吸引能够容易地从第2过滤器2表面脱离，可再次继续过滤。
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公开(公告)号：CN1204952C
公开(公告)日：2005-06-08
申请号：CN00108614.6
申请日：2000-03-31
Applicant: 三洋电机株式会社
CPC classification number: H01L21/67028 , B01D25/164 , B01D29/15 , B01D29/39 , B01D29/52 , B01D29/56 , B01D29/58 , B01D29/70 , B01D29/86 , B01D36/02 , B01D36/04 , B01D37/02 , B01D37/04 , B01D63/082 , B01D69/14 , C02F1/32 , C02F1/441 , C02F1/444 , C02F1/52 , C02F2103/02 , C02F2103/346 , C02F2201/008
Abstract: 将第1滤膜(10)捕获的被除去物(12)用作第2滤膜(13)在防止第1滤膜(10)阻塞的同时，通过对第2滤膜(13)给予气泡等外力，可以维持过滤能力。另外，在过滤水中混入被除去物时，可以使过滤水再循环到储存排水的槽中，确认达到规定的混入率后，再次开始过滤。
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公开(公告)号：CN1457917A
公开(公告)日：2003-11-26
申请号：CN03131022.2
申请日：2003-05-14
Applicant: 三洋电机株式会社
IPC: B01D37/03
CPC classification number: B01D69/14 , B01D61/145 , B01D61/147 , B01D61/16 , B01D2311/04 , C02F1/001 , C02F1/44 , C02F1/444 , C02F1/52 , C02F1/5245 , C02F1/66 , C02F1/76 , C02F9/00 , C02F2101/16 , C02F2103/346 , C02F2303/16 , Y10S210/903 , B01D2311/12 , B01D2311/18 , B01D2311/2642 , B01D2311/14
Abstract: 此前，CMP等机械加工产生的排水是CMP游浆中含磨料微粒的胶体溶液，无有效的过滤方法。本发明提供一种胶体溶液的过滤方法，对含胶体溶液微粒的排水，利用抽吸在第1过滤器1的表面上形成的凝胶膜构成的第2过滤器2进行过滤。此时，加入凝聚剂或pH调节剂，使胶体溶液微粒形成易于凝胶化的凝聚粒子，进行抽吸过滤，从而即使凝胶化困难的胶体溶液也能进行过滤。
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公开(公告)号：CN1168520C
公开(公告)日：2004-09-29
申请号：CN00117607.2
申请日：2000-03-31
Applicant: 三洋电机株式会社
CPC classification number: H01L21/67028 , B01D25/164 , B01D29/15 , B01D29/39 , B01D29/52 , B01D29/56 , B01D29/58 , B01D29/70 , B01D29/86 , B01D36/02 , B01D36/04 , B01D37/02 , B01D37/04 , B01D63/082 , B01D69/14 , C02F1/32 , C02F1/441 , C02F1/444 , C02F1/52 , C02F2103/02 , C02F2103/12 , C02F2103/346
Abstract: 将第1过滤器膜10捕获的被除杂物12用作第2过滤器膜13，可防止对第1过滤器膜10的堵塞，同时，对第2过滤器膜13付与气泡等外力，以维持过滤能力。在过滤水中混入被除杂物时，将过滤水循环回排水贮罐中，在确认达到规定的混入率时，再次开始过滤。
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公开(公告)号：CN1356184A
公开(公告)日：2002-07-03
申请号：CN01142577.6
申请日：2001-12-03
Applicant: 三洋电机株式会社 , 三洋埃科技术株式会社
CPC classification number: Y02P70/177 , Y02W10/37
Abstract: 过去,混入有因进行切块、CMP等机械加工而产生的研磨屑、磨削屑的排放水通过凝聚沉淀法或者过滤器过滤与离心分离相接合等两种方法进行处理。但是,前者中,或者由于药品与磨削屑发生反应,或者由于滤过水中混有药品,因而无法进行再利用;而后者中,作为一个系统过于庞大,存在着原始成本、运行成本高的问题。而且不能实现再循环。而本发明中,首先,使用过滤装置102使原水罐101的原水105成为高浓度。并且,使移载装置120位于原水罐附近,并使用经由管子进行安装的过滤装置121对原水105进行过滤。过滤装置121以目较粗的过滤器进行过滤,将其滤液送回原水罐101。于是,可使原水罐101的浓度降低,并且能够通过过滤装置121使被除去物成为滤饼状物而进行回收。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1275418A
公开(公告)日：2000-12-06
申请号：CN00117607.2
申请日：2000-03-31
Applicant: 三洋电机株式会社
IPC: B01D37/00
CPC classification number: H01L21/67028 , B01D25/164 , B01D29/15 , B01D29/39 , B01D29/52 , B01D29/56 , B01D29/58 , B01D29/70 , B01D29/86 , B01D36/02 , B01D36/04 , B01D37/02 , B01D37/04 , B01D63/082 , B01D69/14 , C02F1/32 , C02F1/441 , C02F1/444 , C02F1/52 , C02F2103/02 , C02F2103/12 , C02F2103/346
Abstract: 将第1过滤器膜10捕获的被除杂物12用作第2过滤器膜13,可防止对第1过滤器膜10的堵塞,同时,对第2过滤器膜13付与气泡等外力,以维持过滤能力。在过滤水中混入被除杂物时,将过滤水循环回排水贮罐中,在确认达到规定的混入率时,再次开始过滤。
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公开(公告)号：CN1295495C
公开(公告)日：2007-01-17
申请号：CN02141209.X
申请日：2002-07-03
Applicant: 三洋电机株式会社
Abstract: 【课题】进行从含有气泡的经过过滤的水中进行气泡的分离，检测将气泡分离的经过过滤的水的透明度。【解决方案】使含有气泡的经过过滤的水通过弯曲的管道11d的内部，使气泡沿管道(11d)的内部的上部通过，使将气泡分离开的经过过滤的水通过从管道(11d)内部的下方分支的第二管道(11c)的内部。并且，利用光传感器(24)检测通过设在第二管道(11c)的中途的透明管道(11e)内部的经过过滤的水的透明度。通过上述方式在从含有气泡的流体中进行气泡的分离之后，可以检测透明度。
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公开(公告)号：CN1288093C
公开(公告)日：2006-12-06
申请号：CN02147947.X
申请日：2002-10-31
Applicant: 三洋电机株式会社
Abstract: 一种被除去物的除去方法，在以往的CMP等机械加工所产生的排水，由于在CMP研磨膏中包含砂粒的微小颗粒形成为胶体溶液，而没有有效的过滤方法。本发明的除去物的除去方法由第1过滤器(1)表面吸引所形成的凝胶膜构成第2过滤器(2)过滤含有胶体溶液微小颗粒的排水。此时吸引压力极微弱，在维持一定过滤量同时，既延迟第2过滤器(2)堵塞又维持过滤能力，由此也可以除去0.15μm以下的微小颗粒。
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公开(公告)号：CN1227073C
公开(公告)日：2005-11-16
申请号：CN01142577.6
申请日：2001-12-03
Applicant: 三洋电机株式会社 , 三洋埃科技术株式会社
CPC classification number: Y02P70/177 , Y02W10/37
Abstract: 本发明提供一种移载装置，能够以简单的系统从混入有非常微小的被除去物的排放水中分离回收被除去物，实现一种在营造尽量减少工业垃圾、使之能够再循环的环境方面具有优异性能的过滤。本发明的移载装置具有接受并过滤混入有固态物的排放水而将其分离为滤饼状的所说固态物和低浓度排放水的过滤装置、以及贮留所说低浓度排放水的滤液罐，滤液罐中设有将排放水向外部进行输送的输送机构，滤饼状的固态物被回收并被再利用。
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公开(公告)号：CN1174791C
公开(公告)日：2004-11-10
申请号：CN00108726.6
申请日：2000-05-26
Applicant: 三洋电机株式会社
IPC: B01D37/00 , B01D24/00 , C02F1/00 , H01L21/304
CPC classification number: H01L21/67028 , B01D25/164 , B01D29/15 , B01D29/39 , B01D29/52 , B01D29/56 , B01D29/58 , B01D29/70 , B01D29/86 , B01D36/02 , B01D36/04 , B01D37/02 , B01D37/04 , B01D63/082 , B01D69/14 , C02F1/32 , C02F1/441 , C02F1/444 , C02F1/52 , C02F2103/02 , C02F2103/346
Abstract: 将第1过滤器10收集的固形物16作为第2过滤器13使用，在防止第1过滤器10的堵孔的同时，在第2过滤膜13上用气泡等给与外力，保持过滤能力。另外，过滤流体中混入了被去除物14时，将过滤流体在储存排水的槽中再次循环，确认达到规定的混入率后，再次开始过滤。
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