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公开(公告)号：CN1267358C
公开(公告)日：2006-08-02
申请号：CN02147951.8
申请日：2002-10-31
Applicant: 三洋电机株式会社
Abstract: 一种被除去物的除去方法，在以往的CMP等机械加工所产生的排水，由于在CMP研磨膏中包含砂粒的微小颗粒形成为胶体溶液，而没有有效的过滤方法。本发明除去物的除去方法是利用由第1过滤器1表面吸引所形成的凝胶膜构成的第2过滤器2过滤含有胶体溶液微小颗粒的排水。此时吸引压力极微弱，即延迟第2过滤器2堵塞又维持过滤能力。另外第2过滤器2表面所吸附的凝胶利用停止吸引能够容易地从第2过滤器2表面脱离，可再次继续过滤。
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公开(公告)号：CN1288093C
公开(公告)日：2006-12-06
申请号：CN02147947.X
申请日：2002-10-31
Applicant: 三洋电机株式会社
Abstract: 一种被除去物的除去方法，在以往的CMP等机械加工所产生的排水，由于在CMP研磨膏中包含砂粒的微小颗粒形成为胶体溶液，而没有有效的过滤方法。本发明的除去物的除去方法由第1过滤器(1)表面吸引所形成的凝胶膜构成第2过滤器(2)过滤含有胶体溶液微小颗粒的排水。此时吸引压力极微弱，在维持一定过滤量同时，既延迟第2过滤器(2)堵塞又维持过滤能力，由此也可以除去0.15μm以下的微小颗粒。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1227073C
公开(公告)日：2005-11-16
申请号：CN01142577.6
申请日：2001-12-03
Applicant: 三洋电机株式会社 , 三洋埃科技术株式会社
CPC classification number: Y02P70/177 , Y02W10/37
Abstract: 本发明提供一种移载装置，能够以简单的系统从混入有非常微小的被除去物的排放水中分离回收被除去物，实现一种在营造尽量减少工业垃圾、使之能够再循环的环境方面具有优异性能的过滤。本发明的移载装置具有接受并过滤混入有固态物的排放水而将其分离为滤饼状的所说固态物和低浓度排放水的过滤装置、以及贮留所说低浓度排放水的滤液罐，滤液罐中设有将排放水向外部进行输送的输送机构，滤饼状的固态物被回收并被再利用。
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公开(公告)号：CN1272086C
公开(公告)日：2006-08-30
申请号：CN02147952.6
申请日：2002-10-31
Applicant: 三洋水能源科技株式会社 , 三洋电机株式会社
Abstract: 一种过滤装置，在以往的CMP等机械加工所产生的排水，由于在CMP研磨膏中包含砂粒的微小颗粒形成为胶体溶液，而没有有效的过滤方法。本发明的过滤装置是把含有胶体溶液微小颗粒的排水导入罐50，使排水循环通过在第1过滤器1表面吸引所形成凝胶膜的第2过滤器2过滤的过滤装置。此时吸引压力极微弱，即延迟第2过滤器2堵塞又维持过滤能力。还有利用吸引停止能够容易脱离第1过滤器1表面吸附的第2过滤器2凝胶膜，实现可以持续再过滤的过滤装置。
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公开(公告)号：CN1416935A
公开(公告)日：2003-05-14
申请号：CN02147952.6
申请日：2002-10-31
Applicant: 三洋水能源科技株式会社 , 三洋电机株式会社
IPC: B01D36/00
Abstract: 一种过滤装置，在以往的CMP等机械加工所产生的排水，由于在CMP研磨膏中包含砂粒的微小颗粒形成为胶体溶液，而没有有效的过滤方法。本发明的过滤装置是把含有胶体溶液微小颗粒的排水导入罐50，使排水循环通过在第1过滤器1表面吸引所形成凝胶膜的第2过滤器2过滤的过滤装置。此时吸引压力极微弱，即延迟第2过滤器2堵塞又维持过滤能力。还有利用吸引停止能够容易脱离第1过滤器1表面吸附的第2过滤器2凝胶膜，实现可以持续再过滤的过滤装置。
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公开(公告)号：CN1417131A
公开(公告)日：2003-05-14
申请号：CN02147951.8
申请日：2002-10-31
Applicant: 三洋电机株式会社
Abstract: 一种被除去物的除去方法，在以往的CMP等机械加工所产生的排水，由于在CMP研磨膏中包含砂粒的微小颗粒形成为胶体溶液，而没有有效的过滤方法。本发明除去物的除去方法是利用由第1过滤器1表面吸引所形成的凝胶膜构成的第2过滤器2过滤含有胶体溶液微小颗粒的排水。此时吸引压力极微弱，即延迟第2过滤器2堵塞又维持过滤能力。另外第2过滤器2表面所吸附的凝胶利用停止吸引能够容易地从第2过滤器2表面脱离，可再次继续过滤。
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公开(公告)号：CN1417130A
公开(公告)日：2003-05-14
申请号：CN02147947.X
申请日：2002-10-31
Applicant: 三洋电机株式会社
Abstract: 一种被除去物的除去方法，在以往的CMP等机械加工所产生的排水，由于在CMP研磨膏中包含砂粒的微小颗粒形成为胶体溶液，而没有有效的过滤方法。本发明的除去物的除去方法由第1过滤器1表面吸引所形成的凝胶膜构成第2过滤器2过滤含有胶体溶液微小颗粒的排水。此时吸引压力极微弱，在维持一定过滤量同时，即延迟第2过滤器2堵塞又维持过滤能力，由此也可以除去0.15μm以下的微小颗粒。
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