光伏装置
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103608932A

    公开(公告)日:2014-02-26

    申请号:CN201280029397.6

    申请日:2012-03-21

    CPC classification number: H01L31/0687 H01L31/03762 H01L31/0747 Y02E10/548

    Abstract: 本发明提供一种光伏装置,其具备半导体基板(10)、形成在半导体基板(10)的表面上的i型非晶质层(12i)、形成在i型非晶质层(12i)上的p型非晶质层(12p)、形成在半导体基板(10)的背面上的i型非晶质层(16i)、和形成在i型非晶质层(16i)上的n型非晶质层(16n),在i型非晶质层(12i)或i型非晶质层(16i)中,具有从与半导体基板(10)的界面附近沿着膜厚方向浓度台阶状地减少的氧浓度分布,i型非晶质层(16i)的台阶状部分中的氧浓度比i型非晶质层(16i)的台阶状部分中的氧浓度高。

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