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公开(公告)号：CN108102654B
公开(公告)日：2022-02-18
申请号：CN201711188427.9
申请日：2017-11-24
IPC: C09K13/04 , C09K13/06 , H01L21/311
Abstract: 本发明涉及蚀刻剂组合物以及使用其制造集成电路器件的方法。蚀刻剂组合物包括无机酸、硅氧烷化合物、铵化合物和溶剂，其中所述硅氧烷化合物由通式(I)表示。制造集成电路器件的方法包括：在基底上形成结构体，所述结构体具有氧化物膜和氮化物膜暴露于其上的表面；和通过使所述蚀刻剂组合物与所述结构体接触而从所述氧化物膜和所述氮化物膜选择性地除去所述氮化物膜。
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公开(公告)号：CN108102654A
公开(公告)日：2018-06-01
申请号：CN201711188427.9
申请日：2017-11-24
IPC: C09K13/04 , C09K13/06 , H01L21/311
CPC classification number: C09K13/08 , C09K13/06 , H01L21/31111 , H01L27/1157 , H01L27/11582 , C09K13/04
Abstract: 本发明涉及蚀刻剂组合物以及使用其制造集成电路器件的方法。蚀刻剂组合物包括无机酸、硅氧烷化合物、铵化合物和溶剂，其中所述硅氧烷化合物由通式(I)表示。制造集成电路器件的方法包括：在基底上形成结构体，所述结构体具有氧化物膜和氮化物膜暴露于其上的表面；和通过使所述蚀刻剂组合物与所述结构体接触而从所述氧化物膜和所述氮化物膜选择性地除去所述氮化物膜。
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公开(公告)号：CN118176096A
公开(公告)日：2024-06-11
申请号：CN202280072915.6
申请日：2022-08-10
Applicant: 三星电子株式会社
Abstract: 根据一个实施例的电子装置可以：生成包括出发点和基于订单信息确定的要访问的第一目的地的路线；在电子装置使用驱动单元沿着路线移动的同时，基于从指示至少一个顾客站立的站立信息被识别的第一目的地接收订单失败，基于到达第一目的地来执行输出指示放置基本物品的招待托盘的信息的操作；以及基于沿着路线的行驶完成并且基于在第一目的地接收的订单中指示的至少一个物品不被递送到第一目的地，从路线中排除第一目的地。
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公开(公告)号：CN117448824A
公开(公告)日：2024-01-26
申请号：CN202311566341.0
申请日：2019-09-18
Abstract: 公开了蚀刻金属阻挡层和金属层的方法以及制造半导体器件的方法。所述方法包括：在衬底上形成金属阻挡层和金属层；以及使用蚀刻组合物蚀刻金属阻挡层和金属层。蚀刻组合物可以包括：氧化剂，选自于硝酸、溴酸、碘酸、高氯酸、过溴酸、高碘酸、硫酸、甲磺酸、对甲苯磺酸、苯磺酸或它们的组合；金属蚀刻抑制剂，包括由如在说明书中所示的化学式1表示的化合物；以及金属氧化物增溶剂，选自于磷酸、磷酸盐、具有3个至20个碳原子的羧酸或它们的组合。
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公开(公告)号：CN111410964A
公开(公告)日：2020-07-14
申请号：CN202010013430.2
申请日：2020-01-07
IPC: C09K13/04 , C09K13/06 , C09K13/08 , H01L21/311
Abstract: 本申请公开了蚀刻剂组合物和制作半导体器件的方法，所述组合物包含：无机酸；约0.01重量份至约0.5重量份的胶状二氧化硅；约0.01重量份至约30重量份的铵系添加剂；和约20重量份至约50重量份的溶剂，所有重量份都是基于100重量份的所述无机酸。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110911278A
公开(公告)日：2020-03-24
申请号：CN201910879827.7
申请日：2019-09-18
IPC: H01L21/306 , C23F1/18 , C23F1/26 , C23F1/20 , C23F1/28
Abstract: 公开了蚀刻金属阻挡层和金属层的方法以及制造半导体器件的方法。所述方法包括：在衬底上形成金属阻挡层和金属层；以及使用蚀刻组合物蚀刻金属阻挡层和金属层。蚀刻组合物可以包括：氧化剂，选自于硝酸、溴酸、碘酸、高氯酸、过溴酸、高碘酸、硫酸、甲磺酸、对甲苯磺酸、苯磺酸或它们的组合；金属蚀刻抑制剂，包括由如在说明书中所示的化学式1表示的化合物；以及金属氧化物增溶剂，选自于磷酸、磷酸盐、具有3个至20个碳原子的羧酸或它们的组合。
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公开(公告)号：CN119654836A
公开(公告)日：2025-03-18
申请号：CN202380057975.5
申请日：2023-07-24
Applicant: 三星电子株式会社
Abstract: 根据实施例，一种电子装置可以包括；通信模块；以及至少一个处理器。该至少一个处理器可以被配置为检测第一遥控装置。该至少一个处理器可以被配置为通过通信模块建立与第一遥控装置的通信连接。该至少一个处理器可以被配置为确定要使用第一遥控装置控制的第一外部电子装置。该至少一个处理器可以被配置为使得通信模块能够在该电子装置和第一外部电子装置之间建立通信连接。该至少一个处理器可以被配置为执行用于将第一遥控装置的至少一个按键与第一外部电子装置的至少一个功能进行映射的操作。该至少一个处理器可以被配置为通过使用第一遥控装置和第一遥控装置的该至少一个按键来控制第一外部电子装置执行该至少一个功能。
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公开(公告)号：CN118679446A
公开(公告)日：2024-09-20
申请号：CN202280091260.7
申请日：2022-12-08
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: G06F3/01 , G06F3/00 , G06T19/00 , G06F3/14 , G06F3/0484 , H04N13/122 , H04N13/133 , H04N13/117 , H04N13/183
Abstract: 根据实施例的电子设备包括：传感器模块，所述传感器模块包括用于测量所述电子设备的环境照度的光敏电阻器；显示模块，包括主显示器和子显示器；存储器，所述存储器包括可由计算机执行的指令；以及处理器，所述处理器访问所述存储器并执行所述指令。所述处理器可以：识别通过主显示器传输并显示给用户的一个或多个真实对象；选择一个或多个所识别的真实对象当中的一个作为目标对象；基于所述电子设备的所述环境照度来确定所述电子设备的可见性等级，以及基于所确定的可见性等级，在所述主显示器和所述子显示器中的至少一个上显示与所选择的目标对象相对应的至少一条增强现实(AR)内容。
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