公开(公告)号：CN119337796A

公开(公告)日：2025-01-21

申请号：CN202410919785.6

申请日：2024-07-10

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 明相勋 ,  金桂烨 ,  郑载勋 ,  崔允智 ,  韩松伊

IPC: G06F30/367 ,  G06N3/04 ,  G06N3/08

Abstract: 给出了生成神经网络模型并且通过使用神经网络模型执行电路仿真的方法和计算装置。该方法包括：通过基于温度和工艺参数执行工艺仿真来生成样本数据；基于样本数据来训练神经网络模型；执行神经网络模型的轻量级操作以生成轻量级神经网络模型；重新训练轻量级神经网络模型；以及通过使用重新训练后的轻量级神经网络模型以工艺参数作为输入来执行电路仿真。

公开(公告)号：CN117952042A

公开(公告)日：2024-04-30

申请号：CN202311346976.X

申请日：2023-10-17

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 韩松伊 ,  都支星 ,  朴真佑 ,  李艺路 ,  李炫庚 ,  郑载勳

IPC: G06F30/3308 ,  G06F18/22 ,  G06N3/08 ,  G06F111/20 ,  G06F115/12

Abstract: 公开了自动模拟生成装置和用于自动设计半导体装置的系统。一种用于确定用于制造半导体装置的目标配方集的适用性的方法包括：通过基于目标配方集搜索数据库来获得参考配方集，参考配方集与目标配方集具有阈值内的相似度；基于数据库、目标配方集和参考配方集执行深度学习，以预测当使用基于目标配方集的制造工艺制造时在半导体装置中发生缺陷的概率；通过将目标配方集与参考配方集进行比较，生成与目标配方集对应的目标脚本集；使用目标脚本集模拟半导体装置的制造工艺；以及基于所述缺陷的概率和模拟制造工艺的结果，确定目标配方集的适用性。