公开(公告)号：CN112447574A

公开(公告)日：2021-03-05

申请号：CN202010875352.7

申请日：2020-08-27

Applicant: 细美事有限公司 ,  三星电子株式会社

Inventor： 郑昌富 ,  李敏球 ,  崔义选 ,  李康山 ,  闵大浩 ,  石承大

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明公开了一种裸片拾取模块和包括其裸片接合装置。裸片拾取模块包括：用于支承晶圆的晶圆台，晶圆包括附着在切割带上的裸片；裸片分离器，布置在切割带的下方并且将待拾取的裸片与切割带分离；非接触式拾取器，用于以非接触方式拾取裸片，使得不与裸片的前表面接触；真空夹具，用于部分地真空吸附由非接触式拾取器拾取的裸片的后表面；以及翻转驱动单元，用于翻转真空夹具以翻转裸片，使得由真空夹具夹持的裸片的后表面朝上。

公开(公告)号：CN115966496A

公开(公告)日：2023-04-14

申请号：CN202211230378.1

申请日：2022-09-30

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 金柱鲁 ,  闵大浩 ,  李民雨 ,  金俊亨 ,  任京彬

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/683

Abstract: 一种衬底转移设备，包括与衬底的前表面相邻的多个保持单元。多个保持单元包括用于不接触地保持衬底的多个保持表面。多个真空孔设置在多个保持表面中以向衬底提供吸力。多个气孔设置在多个保持表面中以向衬底提供与吸力相反的浮力。间隔调整单元调整多个保持单元之间的间隔，使得从多个保持表面延伸的保持区域的大小对应于衬底的前表面的大小。

公开(公告)号：CN118136546A

公开(公告)日：2024-06-04

申请号：CN202311028742.0

申请日：2023-08-15

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 金秀珉 ,  李民雨 ,  韩一宁 ,  姜秀知 ,  金柱鲁 ,  闵大浩 ,  任京彬

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/68

Abstract: 一种管芯接合装置，包括：台架，被配置为支撑第一管芯；拾取头，被配置为拾取第二管芯；磁性材料区域，布置在第一管芯和第二管芯上；电磁体，布置在拾取头或台架的表面上；以及控制器，被配置为当第一管芯和第二管芯在竖直方向上彼此相距预定距离设置时向电磁体施加电流以产生磁场。由于电磁体产生的磁场，布置在第一管芯和第二管芯上的磁性材料区域在竖直方向上彼此对齐。

公开(公告)号：CN112447574B

公开(公告)日：2024-05-24

申请号：CN202010875352.7

申请日：2020-08-27

Applicant: 细美事有限公司 ,  三星电子株式会社

Inventor： 郑昌富 ,  李敏球 ,  崔义选 ,  李康山 ,  闵大浩 ,  石承大

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明公开了一种裸片拾取模块和包括其裸片接合装置。裸片拾取模块包括：用于支承晶圆的晶圆台，晶圆包括附着在切割带上的裸片；裸片分离器，布置在切割带的下方并且将待拾取的裸片与切割带分离；非接触式拾取器，用于以非接触方式拾取裸片，使得不与裸片的前表面接触；真空夹具，用于部分地真空吸附由非接触式拾取器拾取的裸片的后表面；以及翻转驱动单元，用于翻转真空夹具以翻转裸片，使得由真空夹具夹持的裸片的后表面朝上。