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公开(公告)号:CN1733856B
公开(公告)日:2012-05-23
申请号:CN200510084580.8
申请日:2005-08-01
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: C09G1/00 , H01L21/321
CPC classification number: C09G1/02 , H01L21/3212
Abstract: 一种浆料、使用该浆料的化学机械抛光(CMP)方法以及使用该浆料形成金属布线的方法。该浆料可以包括抛光剂、氧化剂和保护金属膜的至少一种缺陷抑制剂。CMP方法和形成金属布线的方法可以采用具有包括至少一种缺陷抑制剂的至少一种浆料的一种或两种浆料。
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公开(公告)号:CN1782005A
公开(公告)日:2006-06-07
申请号:CN200510090552.7
申请日:2005-08-17
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: C09G1/02 , C09K3/14 , H01L21/314
CPC classification number: C03C19/00 , C03C2218/328 , C09G1/02 , C09K3/1463 , H01L21/31053 , H01L21/3212
Abstract: 一种浆料、使用该浆料的化学机械抛光(CMP)方法以及使用该浆料形成电容器表面的方法。该浆料可以包括研磨剂、氧化剂以及控制浆料的pH的至少一种pH控制剂。
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公开(公告)号:CN108666431A
公开(公告)日:2018-10-16
申请号:CN201810258208.1
申请日:2018-03-27
Applicant: 三星电子株式会社
CPC classification number: C07F15/002 , C07F15/0026 , C07F15/0086 , C09K11/06 , C09K2211/1033 , C09K2211/104 , C09K2211/1055 , C09K2211/185 , H01L51/0081 , H01L51/0087 , H01L51/0088 , H01L51/5012 , H01L51/5016 , C07F15/00 , H01L51/0032
Abstract: 公开有机金属化合物、包括其的有机发光器件和包括其的诊断化合物。所述有机金属化合物由式1表示,其中,在式1中,M为第三行过渡金属,L11为由式2表示的配体,n1为1或2,且当n1为2时,两个基团L11彼此相同或不同,L12为有机配体,n2为0、1、2、或3,和当n2为2或更大时,两个或更多个基团L12彼此相同或不同,其中在式2中,基团和变量与说明书中描述的相同。式1M(L11)n1(L12)n2式2
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公开(公告)号:CN108666431B
公开(公告)日:2022-04-12
申请号:CN201810258208.1
申请日:2018-03-27
Applicant: 三星电子株式会社
Abstract: 公开有机金属化合物、包括其的有机发光器件和包括其的诊断化合物。所述有机金属化合物由式1表示,其中,在式1中,M为第三行过渡金属,L11为由式2表示的配体,n1为1或2,且当n1为2时,两个基团L11彼此相同或不同,L12为有机配体,n2为0、1、2、或3,和当n2为2或更大时,两个或更多个基团L12彼此相同或不同,其中在式2中,基团和变量与说明书中描述的相同。式1M(L11)n1(L12)n2式2
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公开(公告)号:CN110386951A
公开(公告)日:2019-10-29
申请号:CN201910327626.6
申请日:2019-04-23
Applicant: 三星电子株式会社
Abstract: 提供有机金属化合物、包括其的有机发光器件、和包括其的诊断组合物,所述有机金属化合物由式1表示,其中M、L1、L2、n1和n2各自独立地与说明书中所定义的相同。式1M(L1)n1(L2)n2。
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公开(公告)号:CN1733856A
公开(公告)日:2006-02-15
申请号:CN200510084580.8
申请日:2005-08-01
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: C09G1/00 , H01L21/321
CPC classification number: C09G1/02 , H01L21/3212
Abstract: 一种浆料、使用该浆料的化学机械抛光(CMP)方法以及使用该浆料形成金属布线的方法。该浆料可以包括抛光剂、氧化剂和保护金属膜的至少一种缺陷抑制剂。CMP方法和形成金属布线的方法可以采用具有包括至少一种缺陷抑制剂的至少一种浆料的一种或两种浆料。
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