公开(公告)号：CN100501571C

公开(公告)日：2009-06-17

申请号：CN200410028333.1

申请日：2004-01-03

Applicant: 三星电子株式会社 ,  东进瑟弥侃株式会社

Inventor： 姜圣哲 ,  周振豪 ,  李有京 ,  李东基 ,  金孝烈 ,  姜勋 ,  李承昱 ,  金柄郁

IPC: G03F7/016 ,  G03F7/039 ,  H01L21/00

CPC classification number: G03F7/0236 ,  G03F7/0048

Abstract: 本发明涉及一种用于MMN(多个微型喷嘴)涂布机的光致抗蚀剂组合物，更具体地，本发明涉及一种用于液晶显示器电路的光致抗蚀剂组合物，其包含分子量为2000～12000的酚醛清漆树脂、重氮化物光活性化合物、有机溶剂和硅基表面活性剂。本发明的用于液晶显示器电路的光致抗蚀剂组合物解决了在用于大型基底玻璃的MMN涂布机中出现的污染问题，并提高了涂层性能，因此它能够在工业上应用，并预期明显提高生产率。

公开(公告)号：CN1550897A

公开(公告)日：2004-12-01

申请号：CN200410028333.1

申请日：2004-01-03

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 姜圣哲 ,  周振豪 ,  李有京 ,  李东基 ,  金孝烈

IPC: G03F7/012 ,  G03F7/008 ,  G03F7/20 ,  H01L21/00

CPC classification number: G03F7/0236 ,  G03F7/0048

Abstract: 本发明涉及一种用于MMN(多个微型喷嘴)涂布机的光致抗蚀剂组合物，更具体地，本发明涉及一种用于液晶显示器电路的光致抗蚀剂组合物，其包含分子量为2000～12000的酚醛清漆树脂、二叠氮光活性化合物、有机溶剂和硅基表面活性剂。本发明的用于液晶显示器电路的光致抗蚀剂组合物解决了在用于大型基底玻璃的MMN涂布机中出现的污染问题，并提高了涂层性能，因此它能够在工业上应用，并预期明显提高生产率。