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公开(公告)号:CN1144997A
公开(公告)日:1997-03-12
申请号:CN96108283.6
申请日:1996-06-29
Applicant: 三星电子株式会社
Inventor: 金京泽
IPC: H04L1/12
CPC classification number: H04N1/32619
Abstract: 传真系统通信过程中产生差错时重新发送文件的一种方法,该方法包括下列步骤:检测差错是否按协议程序通信过程中的呼叫建立阶段产生的;差错是在呼叫建立阶段产生时,自动重拨收方用户电话号码从而发送文件;差错不是在呼叫建立阶段产生时,检测差错是否在图象数据传输过程中产生的;差错是在图象数据传输过程中产生时,自动重拨收方用户的电话号码从而开始从差错文件的下一个文件发送。
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公开(公告)号:CN101398624B
公开(公告)日:2012-09-26
申请号:CN200810165695.3
申请日:2008-09-24
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: G03F7/028 , G03F7/004 , C07C321/12 , C07D333/46 , C07D335/02 , C07D339/08
CPC classification number: G03F7/0045 , C07C309/65 , C07C381/12 , C07D327/06 , C07D333/46 , C07D335/02 , C07D339/08 , G03F7/0392
Abstract: 本发明涉及光致产酸剂、包括其的化学增幅抗蚀剂组合物及相关方法。由式1或式2表示的光致产酸剂,其中R1、R2和R3各自独立地为C1-C10烷基,X为与S+形成环的C3-C20脂环烃基团,并且该脂环烃基团中的至少一个CH2可被选自S、O、NH、羰基和R5-S+A-中的至少一种代替,其中R5为C1-C10烷基,且A-为平衡离子。(式1),(式2)。
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公开(公告)号:CN101458461A
公开(公告)日:2009-06-17
申请号:CN200810183747.X
申请日:2008-12-15
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: G03F7/26 , H01L21/027 , H01L21/312 , H01L21/3105
CPC classification number: H01L21/0332 , H01L21/0276 , H01L21/0337 , H01L21/0338 , H01L21/31144 , H01L21/32139
Abstract: 本申请公开了一种半导体器件的精细构图方法。为了在集成电路制造期间进行构图,激活图像层而在两个最靠近的激活区域上各形成各自的第一种聚合物链段。在图像层上形成嵌段共聚物层,并且在两个最靠近的激活区域的外边缘之间的图像层的区域上,由嵌段共聚物形成多个第一种聚合物链段以及多个第二和第三种聚合物链段。去除第一、第二和第三种聚合物链段中的至少一种聚合物链段,以形成各种各样的掩模结构。
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公开(公告)号:CN101458461B
公开(公告)日:2013-03-27
申请号:CN200810183747.X
申请日:2008-12-15
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: G03F7/26 , H01L21/027 , H01L21/312 , H01L21/3105
CPC classification number: H01L21/0332 , H01L21/0276 , H01L21/0337 , H01L21/0338 , H01L21/31144 , H01L21/32139
Abstract: 本申请公开了一种半导体器件的精细构图方法。为了在集成电路制造期间进行构图,激活图像层而在两个最靠近的激活区域上各形成各自的第一种聚合物链段。在图像层上形成嵌段共聚物层,并且在两个最靠近的激活区域的外边缘之间的图像层的区域上,由嵌段共聚物形成多个第一种聚合物链段以及多个第二和第三种聚合物链段。去除第一、第二和第三种聚合物链段中的至少一种聚合物链段,以形成各种各样的掩模结构。
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公开(公告)号:CN101398624A
公开(公告)日:2009-04-01
申请号:CN200810165695.3
申请日:2008-09-24
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: G03F7/028 , G03F7/004 , C07C321/12 , C07D333/46 , C07D335/02 , C07D339/08
CPC classification number: G03F7/0045 , C07C309/65 , C07C381/12 , C07D327/06 , C07D333/46 , C07D335/02 , C07D339/08 , G03F7/0392
Abstract: 本发明涉及光致产酸剂、包括其的化学增幅抗蚀剂组合物及相关方法。由式1或式2表示的光致产酸剂,其中R1、R2和R3各自独立地为C1-C10烷基,X为与S+形成环的C3-C20脂环烃基团,并且该脂环烃基团中的至少一个CH2可被选自S、O、NH、羰基和R5-S+A-中的至少一种代替,其中R5为C1-C10烷基,且A-为平衡离子。
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公开(公告)号:CN1082290C
公开(公告)日:2002-04-03
申请号:CN96108283.6
申请日:1996-06-29
Applicant: 三星电子株式会社
Inventor: 金京泽
IPC: H04L1/12
CPC classification number: H04N1/32619
Abstract: 传真系统通信过程中产生差错时重新发送文件的一种方法,该方法包括下列步骤:检测差错是否按协议程序通信过程中的呼叫建立阶段产生的;差错是在呼叫建立阶段产生时,自动重拨收方用户电话号码从而发送文件;差错不是在呼叫建立阶段产生时,检测差错是否在图象数据传输过程中产生的;差错是在图象数据传输过程中产生时,自动重拨收方用户的电话号码从而开始从差错文件的下一个文件发送。
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